- வெப்ப CVD தொழில்நுட்பம்
கடின பூச்சுகள் பெரும்பாலும் உலோக பீங்கான் பூச்சுகள் (TiN, முதலியன), இவை பூச்சுகளில் உலோகத்தின் எதிர்வினை மற்றும் வினைத்திறன் வாயுவாக்கத்தால் உருவாகின்றன. முதலில், வெப்ப CVD தொழில்நுட்பம் 1000 ℃ அதிக வெப்பநிலையில் வெப்ப ஆற்றலால் கூட்டு வினையின் செயல்படுத்தும் ஆற்றலை வழங்க பயன்படுத்தப்பட்டது. இந்த வெப்பநிலை சிமென்ட் செய்யப்பட்ட கார்பைடு கருவிகளில் TiN மற்றும் பிற கடின பூச்சுகளை வைப்பதற்கு மட்டுமே பொருத்தமானது. இதுவரை, சிமென்ட் செய்யப்பட்ட கார்பைடு கருவி தலைகளில் TiN - Al2O3 கலப்பு பூச்சுகளை வைப்பதற்கு இது இன்னும் ஒரு முக்கியமான தொழில்நுட்பமாகும்.
- வெற்று கேத்தோடு அயன் பூச்சு மற்றும் சூடான கம்பி வில் அயன் பூச்சு
1980களில், பூசப்பட்ட வெட்டும் கருவிகளை வைப்பதற்கு வெற்று கேத்தோடு அயன் பூச்சு மற்றும் சூடான கம்பி ஆர்க் அயன் பூச்சு பயன்படுத்தப்பட்டன. இந்த இரண்டு அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பங்களும் வில் வெளியேற்ற அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பங்கள், உலோக அயனியாக்கம் விகிதம் 20%~40% வரை இருக்கும்.
- கத்தோட் ஆர்க் அயன் பூச்சு
கத்தோடிக் ஆர்க் அயன் கேட்டிங்கின் தோற்றம், அச்சுகளில் கடினமான பூச்சுகளைப் படிவு செய்யும் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சிக்கு வழிவகுத்தது. கத்தோடிக் ஆர்க் அயன் பூச்சுகளின் அயனியாக்கம் விகிதம் 60%~90% ஆகும், இது அதிக எண்ணிக்கையிலான உலோக அயனிகள் மற்றும் எதிர்வினை வாயு அயனிகள் பணிப்பகுதியின் மேற்பரப்பை அடைந்து இன்னும் அதிக செயல்பாட்டைப் பராமரிக்க அனுமதிக்கிறது, இதன் விளைவாக எதிர்வினை படிவு மற்றும் TiN போன்ற கடினமான பூச்சுகள் உருவாகின்றன. தற்போது, கத்தோடிக் ஆர்க் அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பம் முக்கியமாக அச்சுகளில் கடினமான பூச்சுகளைப் படிவு செய்யப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கேத்தோடு ஆர்க் மூலமானது நிலையான உருகிய குளம் இல்லாத ஒரு திட-நிலை ஆவியாதல் மூலமாகும், மேலும் ஆர்க் மூல நிலையை தன்னிச்சையாக வைக்கலாம், இது பூச்சு அறையின் இட பயன்பாட்டு விகிதத்தை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உலை ஏற்றும் திறனை அதிகரிக்கிறது. கேத்தோடு ஆர்க் மூலங்களின் வடிவங்களில் சிறிய வட்ட கேத்தோடு ஆர்க் மூலங்கள், நெடுவரிசை ஆர்க் மூலங்கள் மற்றும் செவ்வக தட்டையான பெரிய ஆர்க் மூலங்கள் ஆகியவை அடங்கும். சிறிய ஆர்க் மூலங்கள், நெடுவரிசை ஆர்க் மூலங்கள் மற்றும் பெரிய ஆர்க் மூலங்களின் வெவ்வேறு கூறுகள் பல அடுக்கு படங்கள் மற்றும் நானோ பல அடுக்கு படங்களை வைப்பதற்கு தனித்தனியாக ஏற்பாடு செய்யப்படலாம். இதற்கிடையில், கேத்தோடு ஆர்க் அயன் பூச்சுகளின் அதிக உலோக அயனியாக்க விகிதம் காரணமாக, உலோக அயனிகள் அதிக எதிர்வினை வாயுக்களை உறிஞ்சி, சிறந்த கடின பூச்சுகளைப் பெற பரந்த செயல்முறை வரம்பு மற்றும் எளிமையான செயல்பாட்டை விளைவிக்கின்றன. இருப்பினும், கேத்தோடு ஆர்க் அயன் பூச்சு மூலம் பெறப்பட்ட பூச்சு அடுக்கின் நுண் கட்டமைப்பில் கரடுமுரடான துளிகள் உள்ளன. சமீபத்திய ஆண்டுகளில், பட அடுக்கின் கட்டமைப்பைச் செம்மைப்படுத்த பல புதிய தொழில்நுட்பங்கள் உருவாகியுள்ளன, இது ஆர்க் அயன் பூச்சு படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்தியுள்ளது.
இடுகை நேரம்: ஜூலை-20-2023