Kemiso ea Mouoane oa Lik'hemik'hale (CVD). Joalo ka ha lebitso le bolela, ke mokhoa o sebelisang li-reactants tsa gaseous precursor ho hlahisa lifilimi tse tiileng ka tšebetso ea lik'hemik'hale tsa atomic le intermolecular. Ho fapana le PVD, ts'ebetso ea CVD hangata e etsoa tikolohong ea khatello e phahameng (vacuum e tlase), 'me khatello e phahameng e sebelisoa haholo ho eketsa sekhahla sa ho beha filimi. Mouoane oa lik'hemik'hale o ka aroloa ka kakaretso CVD (eo hape e tsejoang e le thermal CVD) le plasma-enhanced chemical vapor deposition (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. PECVD) ho latela hore na plasma e ameha ts'ebetsong ea ho beha. Karolo ena e tsepamisitse maikutlo ho thekenoloji ea PECVD ho kenyelletsa ts'ebetso ea PECVD le lisebelisoa tse sebelisoang hangata tsa PECVD le molao-motheo oa ho sebetsa.
Mouoane o matlafalitsoeng oa lik'hemik'hale oa plasma ke mokhoa oa ho beha mouoane oa lik'hemik'hale oa filimi e tšesaane o sebelisang plasma e tsoang ho khanya ho ba le tšusumetso tšebetsong ea ho bea ha tšebetso ea khatello e tlase ea mouoane oa lik'hemik'hale e ntse e etsahala. Ka kutloisiso ena, theknoloji e tloaelehileng ea CVD e itšetlehile ka mocheso o phahameng oa substrate ho lemoha karabelo ea lik'hemik'hale pakeng tsa lintho tsa khase le ho behoa ha lifilimi tse tšesaane, kahoo li ka bitsoa theknoloji ea mocheso oa CVD.
Sesebelisoa sa PECVD, khatello ea khase e sebetsang e ka ba 5 ~ 500 Pa, 'me boima ba li-electrone le li-ion bo ka fihla ho 109 ~ 1012 / cm3, ha matla a tloaelehileng a li-electrone a ka fihla ho 1 ~ 10 eV. Se khethollang mokhoa oa PECVD le mekhoa e meng ea CVD ke hore plasma e na le palo e kholo ea li-electrone tse nang le matla a mangata, tse ka fanang ka matla a ho kenya ts'ebetsong a hlokahalang bakeng sa ts'ebetso ea ho beha mouoane oa lik'hemik'hale. Ho thulana ha li-electrone le limolek'hule tsa khase ho ka khothalletsa ho bola, chemosynthesis, excitation le ionization process ea limolek'hule tsa khase, ho hlahisa lihlopha tsa lik'hemik'hale tse sebetsang haholo, kahoo ho fokotsa haholo mocheso oa mocheso oa filimi e nyenyane ea CVD, ho etsa hore ho khonehe ho hlokomela ts'ebetso ea CVD, eo qalong e hlokahalang ho etsoa ka mocheso o tlaase, mocheso o tlaase. Monyetla oa mocheso o tlase oa filimi e tšesaane ke hore e ka qoba ho ata ho sa hlokahaleng le karabelo ea lik'hemik'hale lipakeng tsa filimi le substrate, liphetoho tsa sebopeho le ho senyeha ha filimi kapa thepa ea substrate, le khatello e kholo ea mocheso filiming le substrate.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Apr-18-2024