Ho na le mekhoa e 'meli ea mantlha ea ho beoa ka thuso ea beam ea ion, e' ngoe ke lebasetere le matla; e 'ngoe ke static hybrid. Ea pele e bua ka filimi ts'ebetsong ea kholo e lula e tsamaisana le matla a itseng le beam ea hona joale ea bombardment ea ion le filimi; ho qetela ke pele ho deposited holim'a substrate lera la ka tlaase ho tse seng kae nanometers botenya ba lera filimi, 'me joale matla ion bombardment,' me e ka phetoa ka makhetlo a mangata le kgolo ya lera filimi.
Matla a ion beam a khethiloeng bakeng sa ion beam a thusa ho bea lifilimi tse tšesaane a maemong a 30 eV ho isa ho 100 keV. Mefuta ea matla e khethiloeng e itšetlehile ka mofuta oa kopo eo filimi e etsoang ka eona. Ka mohlala, ho lokisoa ha tšireletso ea kutu, liaparo tse khahlanong le mechine, liaparo tse khabisitsoeng le lifilimi tse ling tse tšesaane li lokela ho khethoa matla a phahameng a bombardment. Liteko li bontša hore, joalo ka khetho ea matla a 20 ho 40keV ea ion beam bombardment, thepa ea substrate le filimi ka boeona e ke ke ea ama ts'ebetso le ts'ebeliso ea tšenyo. Ha ho lokisoa lifilimi tse tšesaane bakeng sa lisebelisoa tsa optical le tsa elektroniki, ho lokela ho khethoa sebaka se tlase sa matla a ion beam, e sa fokotseng feela khanya ea leseli le ho qoba ho theha mefokolo e kentsoeng ka motlakase, empa hape e thusa ho theha sebopeho sa boemo bo tsitsitseng ba membrane. Boithuto bo bontšitse hore lifilimi tse nang le thepa e ntle haholo li ka fumanoa ka ho khetha matla a ion a tlase ho 500 eV.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Mar-11-2024