Постоје два главна начина таложења уз помоћ јонског снопа: један је динамички хибридни; други је статички хибридни. Први се односи на то да је процес раста филма увек праћен одређеном енергијом и струјом снопа јонског бомбардовања и филма; други се односи на то да се на површину подлоге претходно нанесе слој филма дебљине мање од неколико нанометара, а затим се подвргне динамичком јонском бомбардовању, које се може поновити много пута и да се слој филма развије.
Енергије јонског снопа изабране за таложење танких филмова уз помоћ јонског снопа крећу се у опсегу од 30 eV до 100 keV. Изабрани енергетски опсег зависи од врсте примене за коју се филм синтетише. На пример, за припрему заштите од корозије, антимеханичке отпорности на хабање, декоративних премаза и других танких филмова треба одабрати већу енергију бомбардовања. Експерименти показују да, као што је избор енергије бомбардовања јонским снопом од 20 до 40 keV, материјал подлоге и сам филм неће утицати на перформансе и употребу оштећења. Приликом припреме танких филмова за оптичке и електронске уређаје, треба одабрати таложење уз помоћ јонског снопа ниже енергије, што не само да смањује адсорпцију светлости и избегава стварање електрично активираних дефеката, већ и олакшава формирање стационарне структуре мембране. Студије су показале да се филмови са одличним својствима могу добити избором енергије јона нижих од 500 eV.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 11. март 2024.