Када почне таложење мембранских атома, јонско бомбардовање има следеће ефекте на границу мембрана/подлога.
(1) Физичко мешање. Због убризгавања јона високе енергије, распршивања депонованих атома и убризгавања површинских атома као и феномена каскадног судара, довешће се до недифузионог мешања у близини површине мембранско-базног интерфејса елемената подлоге и мембранских елемената. Овај ефекат мешања ће бити погодан за формирање „псеудо-дифузионог слоја“ на мембранско-базном интерфејсу, односно прелазног слоја између мембранско-базног интерфејса, дебљине до неколико микрона. Дебљине неколико микрометара, у коме се могу појавити чак и нове фазе. Ово је веома повољно за побољшање чврстоће адхезије мембранско-базног интерфејса.
(2) Појачана дифузија. Висока концентрација дефеката у области близу површине и висока температура повећавају брзину дифузије. Пошто је површина тачкасти дефект, мали јони имају тенденцију да је скрећу, а јонско бомбардовање има ефекат даљег повећања површинског скретања и побољшања међусобне дифузије депонованих и атома супстрата.
(3) Побољшани режим нуклеације. Особине атома кондензованог на површини подлоге одређене су његовом површинском интеракцијом и његовим миграционим својствима на површини. Ако нема јаке интеракције између кондензованог атома и површине подлоге, атом ће дифундовати на површини док не нуклеира на позицији високе енергије или се не судари са другим дифузујућим атомима. Овај режим нуклеације назива се нереактивна нуклеација. Чак и ако оригинал припада случају нереактивног режима нуклеације, јонским бомбардовањем површине подлоге може се произвести више дефеката, повећавајући густину нуклеације, што је погодније за формирање дифузионо-реактивног режима нуклеације.
(4) Преференцијално уклањање лабаво везаних атома. Распршивање површинских атома одређено је локалним стањем везе, а јонско бомбардовање површине ће вероватније распршити лабаво везане атоме. Овај ефекат је израженији при формирању дифузионо-реактивних интерфејса.
(5) Побољшање покривености површине и побољшање заобилажења превлаке. Због високог радног притиска гаса код јонског превлачивања, испарени или распршени атоми су изложени судару са атомима гаса ради побољшања расејања, што резултира добрим својствима обавивања премаза.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 09. децембар 2023.