- Термичка CVD технологија
Тврди премази су углавном металокерамички премази (TiN, итд.), који настају реакцијом метала у премазу и реактивном гасификацијом. У почетку је коришћена термичка CVD технологија да би се обезбедила енергија активације комбиноване реакције топлотном енергијом на високој температури од 1000 ℃. Ова температура је погодна само за наношење TiN и других тврдих премаза на алате од цементираног карбида. За сада је то и даље важна технологија за наношење композитних премаза TiN – Al2O3 на главе алата од цементираног карбида.
- Јонски премаз са шупљом катодом и јонски премаз са врућом жицом
Осамдесетих година прошлог века, за наношење премаза са шупљом катодом и јонско премазивање врућом жицом коришћено је за наношење премаза са пресвлакама на алате за резање. Обе ове технологије јонског премазивања су технологије јонског премазивања лучним пражњењем, са стопом јонизације метала до 20%~40%.
- Катодни лучни јонски премаз
Појава катодног лучног јонског премазивања довела је до развоја технологије наношења тврдих премаза на калупе. Брзина јонизације катодног лучног јонског премазивања је 60%~90%, што омогућава великом броју металних јона и јона реакционог гаса да доспеју до површине радног предмета, а да и даље одрже високу активност, што резултира реакционим таложењем и формирањем тврдих премаза као што је TiN. Тренутно се технологија катодног лучног јонског премазивања углавном користи за наношење тврдих премаза на калупе.
Катодни лучни извор је чврсти извор испаравања без фиксног растопљеног базена, а положај лучног извора може се произвољно поставити, побољшавајући стопу искоришћења простора у просторији за премазивање и повећавајући капацитет пећи. Облици катодних лучних извора укључују мале кружне катодне лучне изворе, стубасте лучне изворе и правоугаоне равне велике лучне изворе. Различите компоненте малих лучних извора, стубастих лучних извора и великих лучних извора могу се одвојено распоредити за наношење вишеслојних филмова и нано вишеслојних филмова. У међувремену, због високе стопе јонизације метала катодним лучним јонским премазом, метални јони могу апсорбовати више реакционих гасова, што резултира широким опсегом процеса и једноставним радом за добијање одличних тврдих премаза. Међутим, постоје крупне капљице у микроструктури слоја премаза добијеног катодним лучним јонским премазом. Последњих година појавиле су се многе нове технологије за усавршавање структуре слоја филма, што је побољшало квалитет филма лучног јонског премаза.
Време објаве: 20. јул 2023.