Waxaa jira laba nooc oo waaweyn oo ah meel dhigista ion beam-caawin, mid waa isku-dhafan firfircoon; Midda kale waa isku-dhafan taagan (static hybrid). Kii hore waxa uu tilmaamayaa filimka habka kobaca waxa had iyo jeer la socda tamar gaar ah iyo hadda beam ee bamka ion iyo filimka; kan dambe ayaa horay loogu sii dhigaa dusha sare ee substrate lakab ka yar dhumucdiisuna tahay dhowr nanometer ee lakabka filimka, ka dibna bamka ion firfircoon, waxaana lagu soo celin karaa marar badan iyo koritaanka lakabka filimka.
Tamarta ion beam ee loo doortay ion beam-ka caawinta dhigista filimada khafiifka ah waxay ku jiraan inta u dhaxaysa 30 eV ilaa 100 keV. Qiyaasta tamarta ee la doortay waxay kuxirantahay nooca codsiga kaas oo filimka loo sameeyay. Tusaale ahaan, diyaarinta ilaalinta daxalka, xirashada ka hortagga makaanikada, dahaarka qurxinta iyo filimada kale ee khafiifka ah waa in la doortaa tamarta duqaynta sare. Tijaabooyinku waxay muujinayaan, sida doorashada 20 ilaa 40kV tamarta ee bamka ion beam, walxaha substrate-ka iyo filimka laftiisa ma saameyn doonaan waxqabadka iyo isticmaalka dhaawaca. Diyaarinta filimada khafiifka ah ee qalabyada indhaha iyo elektiroonigga ah, tamarta hoose ee ion biam la caawiyay waa in la doortaa, taas oo aan hoos u dhigin xayeysiinta iftiinka oo ka fogaanaysa samaynta cilladaha korontada ku shaqeeya, laakiin sidoo kale waxay fududeysaa sameynta qaab-dhismeedka dawladeed ee joogtada ah. Daraasaduhu waxay muujiyeen in filimada leh sifooyin aad u wanaagsan lagu heli karo iyadoo la dooranayo tamarta ion ee ka hooseeya 500 eV.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Mar-11-2024