A amata le faʻaputuina o atoms membrane, o le pomu ion ei ai aʻafiaga nei i luga o le membrane / substrate interface.
(1) Faafefiloi faaletino. Ona o le tui ion maualuga-malosi, sputtering o atoms teuina ma le recoil tui o luga o atoms ma cascade feteʻenaʻiga faʻalavelave, o le a mafua ai le latalata i luga o le vaega o le membrane / faʻavae faʻavae o elemene substrate ma elemene elemene o le non-diffusion fefiloi, o lenei aafiaga fefiloi o le a fesoasoani i le fausia o le membrane / faavae interface "pseudo-eseesega, o se vaega felafolafoai i luga o le vaega" microns mafiafia. O nai micrometers mafiafia, lea e ono aliali mai ai ni vaega fou. E sili ona lelei lenei mea e faʻaleleia ai le malosi o le faʻaogaina o le membrane / faʻavae faʻavae.
(2) Faʻateleina faʻasalalauga. O le maualuga o le fa'aogaina o le fa'aletonu i totonu o le itulagi lata ane ma le maualuga o le vevela e fa'ateleina ai le fa'asalalauina. Talu ai ona o le pito i luga o se tulaga faaletonu, o ion laiti o loʻo i ai se uiga e faʻafefe ai luga, ma o le pomu o le ion o loʻo i ai le aʻafiaga o le faʻaleleia atili o le faʻaogaina o luga ma faʻaleleia le fefaʻasoaaʻi o mea e teu ma substrate.
(3) Faʻaleleia le faʻaogaina o le nucleation mode. O meatotino o le atoma condensed i luga o le substrate surface e fuafuaina e ala i lona sootaga i luga ma lona tulaga femalagaiga i luga o le fogaeleele. Afai e leai se fegalegaleaiga malosi i le va o le atomi condensed ma le pito i luga o le substrate, o le atoma o le a sosolo i luga o le fogaeleele seia oʻo ina nucleates i se tulaga maualuga-malosi poʻo le fetoʻai ma isi atoms salalau. O lenei faiga o le nucleation e ta'ua o le non-reactive nucleation. E tusa lava pe o le uluaʻi faʻatatau i le tulaga o le non-reactive nucleation mode, e ala i le pomu ion o le substrate surface e mafai ona maua ai le tele o faaletonu, faʻateleina le nucleation density, lea e sili atu ona faʻaogaina i le faʻavaeina o le faʻasalalauga - faʻasologa o le nucleation.
(4) Aveese fa'apitoa o atoma fa'amau. O le mapuna a'e o atoma i luga e fa'amoemoeina e le tulaga fa'alotoifale fa'atasi, ma o le tu'ia o le ion i luga o le mea e sili atu ona mapuna a'e i fafo ni atoma fa'amau. O lenei aafiaga e sili atu ona faʻaalia i le faʻavaeina o fesoʻotaʻiga faʻasalalau-reactive.
(5) Fa'aleleia atili o le ufiufi o luga ma le fa'aleleia atili o le fa'aogaina o mea fa'apipi'i. Ona o le maualuga o le kasa galue mamafa o le ion plateing, ua fa'asalaina po'o sputtered atoms e fa'afeto'ai ma kasa atoms e fa'aleleia ai le fa'ata'ape'apeina, e maua ai le lelei o le afifiina o meatotino.
–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Tes-09-2023