Obstajata dva glavna načina nanašanja z ionskim snopom: dinamični hibridni in statični hibridni. Prvi se nanaša na to, da film med rastjo vedno spremlja določena energija in tok snopa, ki ga povzroča bombardiranje z ioni; pri drugem se na površino substrata predhodno nanese plast filma, debela manj kot nekaj nanometrov, nato pa se z dinamičnim bombardiranjem z ioni večkrat ponovi rast filma.
Energije ionskega žarka, izbrane za nanašanje tankih filmov z ionskim žarkom, so v območju od 30 eV do 100 keV. Izbrano energijsko območje je odvisno od vrste uporabe, za katero se film sintetizira. Na primer, za pripravo protikorozijske zaščite, protimehanske obrabe, dekorativnih premazov in drugih tankih filmov je treba izbrati višjo energijo bombardiranja. Poskusi kažejo, da na primer izbira energije bombardiranja z ionskim žarkom od 20 do 40 keV ne vpliva na delovanje in uporabo materiala substrata in samega filma. Pri pripravi tankih filmov za optične in elektronske naprave je treba izbrati nanašanje z ionskim žarkom z nižjo energijo, kar ne le zmanjša adsorpcijo svetlobe in prepreči nastanek električno aktiviranih napak, temveč tudi olajša nastanek membranske strukture v stabilnem stanju. Študije so pokazale, da je mogoče z izbiro ionskih energij pod 500 eV dobiti filme z odličnimi lastnostmi.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 11. marec 2024