1. Hitrost izhlapevanja vpliva na lastnosti izhlapenega premaza
Hitrost izhlapevanja ima velik vpliv na naneseni film. Ker je struktura prevleke, ki nastane pri nizki hitrosti nanašanja, rahla in omogoča enostavno nanašanje velikih delcev, je zelo varno izbrati višjo hitrost izhlapevanja, da se zagotovi kompaktnost strukture prevleke. Ko je tlak preostalega plina v vakuumski komori konstanten, je hitrost bombardiranja substrata konstantna. Zato se bo po izbiri višje hitrosti nanašanja količina preostalega plina v nanesenem filmu zmanjšala, s čimer se bo zmanjšala kemična reakcija med molekulami preostalega plina in delci izparjenega filma. Posledično se lahko izboljša čistost nanesenega filma. Treba je opozoriti, da lahko prehitra hitrost nanašanja poveča notranjo napetost v filmu, poveča število napak v filmu in celo povzroči njegovo razpoko. Zlasti pri procesu reaktivnega izhlapevanja lahko za popolno reakcijo reakcijskega plina z delci materiala izparjenega filma izberete nižjo hitrost nanašanja. Seveda se različni materiali razlikujejo po hitrosti izhlapevanja. Kot praktičen primer – nanašanje odsevne folije. Če je debelina folije 600 × 10⁻⁶ cm in čas izhlapevanja 3 s, je odbojnost 93 %. Če pa se hitrost izhlapevanja upočasni pri enakih pogojih debeline, traja 10 minut, da se folija nanese. V tem času je debelina folije enaka. Vendar pa se odbojnost zmanjša na 68 %.
2. Temperatura podlage bo vplivala na izhlapevanje premaza
Temperatura substrata ima velik vpliv na izhlapevalni premaz. Preostale molekule plina, adsorbirane na površini substrata pri visoki temperaturi substrata, se enostavno odstranijo. Še posebej pomembno je odstranjevanje molekul vodne pare. Poleg tega pri višjih temperaturah ni le enostavno spodbuditi prehoda iz fizikalne v kemično adsorpcijo, s čimer se poveča vezna sila med delci. Poleg tega lahko tudi zmanjša razliko med temperaturo rekristalizacije molekul pare in temperaturo substrata, s čimer se zmanjša ali odpravi notranja napetost na vmesniku filma. Ker je temperatura substrata povezana s kristalnim stanjem filma, je pogosto enostavno tvoriti amorfne ali mikrokristalne premaze pri nizki temperaturi substrata ali brez segrevanja. Nasprotno, pri visoki temperaturi je enostavno tvoriti kristalni premaz. Zvišanje temperature substrata prispeva tudi k izboljšanju mehanskih lastnosti premaza. Seveda temperatura substrata ne sme biti previsoka, da se prepreči izhlapevanje premaza.
3. Preostali tlak plina v vakuumski komori bo vplival na lastnosti filma.
Tlak preostalega plina v vakuumski komori ima velik vpliv na delovanje membrane. Molekule preostalega plina s previsokim tlakom ne le zlahka trčijo v izhlapevajoče delce, ampak tudi zmanjšajo kinetično energijo ljudi na substratu in vplivajo na oprijem filma. Poleg tega previsok tlak preostalega plina resno vpliva na čistost filma in zmanjša delovanje premaza.
4. Vpliv temperature izhlapevanja na izhlapevalni premaz
Vpliv temperature izhlapevanja na delovanje membrane se kaže v spremembi hitrosti izhlapevanja s temperaturo. Ko je temperatura izhlapevanja visoka, se toplota izhlapevanja zmanjša. Če se material membrane izhlapi nad temperaturo izhlapevanja, lahko že majhna sprememba temperature povzroči močno spremembo hitrosti izhlapevanja membranskega materiala. Zato je zelo pomembno, da med nanašanjem filma natančno nadzorujemo temperaturo izhlapevanja, da se izognemo velikemu temperaturnemu gradientu pri segrevanju vira izhlapevanja. Pri materialu folije, ki ga je enostavno sublimirati, je zelo pomembno tudi, da izberemo sam material kot grelec za izhlapevanje in druge ukrepe.
5. Stanje čiščenja substrata in komore za premaz vpliva na delovanje premaza.
Vpliva čistoče substrata in komore za nanos na delovanje premaza ni mogoče zanemariti. To ne bo resno vplivalo le na čistost nanesenega filma, temveč bo tudi zmanjšalo njegov oprijem. Zato so čiščenje substrata, čiščenje komore za vakuumsko nanos in z njo povezanih komponent (kot je okvir substrata) ter odzračevanje površine nepogrešljivi postopki v postopku vakuumskega nanosa premaza.
Čas objave: 28. februar 2023