Vpliv ionskega bombardiranja na vmesnik med filmsko plastjo in substratom

Ko se začne odlaganje membranskih atomov, ima ionsko bombardiranje naslednje učinke na vmesnik med membrano in substratom.

(1) Fizično mešanje. Zaradi vbrizgavanja visokoenergijskih ionov, razprševanja odloženih atomov in odbojnega vbrizgavanja površinskih atomov ter pojava kaskadnega trčenja bo prišlo do nedifuzijskega mešanja v bližini površine vmesnika membrana/osnova med elementi podlage in elementi membrane. Ta učinek mešanja bo ugoden za nastanek "psevdodifuzijske plasti" na vmesniku membrana/osnova, to je prehodne plasti med vmesnikom membrana/osnova, debele do nekaj mikrometrov. V njej se lahko pojavijo celo nove faze. To je zelo ugodno za izboljšanje adhezijske trdnosti vmesnika membrana/osnova.

(2) Izboljšana difuzija. Visoka koncentracija napak v območju blizu površine in visoka temperatura povečata hitrost difuzije. Ker je površina točkovna napaka, jo majhni ioni ponavadi odbijajo, ionsko bombardiranje pa dodatno poveča odboj površine in izboljša medsebojno difuzijo nanesenih in substratnih atomov.

(3) Izboljšan način nukleacije. Lastnosti atoma, kondenziranega na površini substrata, so določene z njegovo površinsko interakcijo in njegovimi migracijskimi lastnostmi na površini. Če med kondenziranim atomom in površino substrata ni močne interakcije, bo atom difundiral na površini, dokler ne doseže visokoenergijskega položaja ali dokler ne trči z drugimi difuzijskimi atomi. Ta način nukleacije se imenuje nereaktivna nukleacija. Tudi če izvirna nukleacija spada v primer nereaktivnega načina nukleacije, lahko ionsko bombardiranje površine substrata povzroči več napak, kar poveča gostoto nukleacije, kar je bolj ugodno za nastanek difuzijsko-reaktivnega načina nukleacije.

(4) Prednostno odstranjevanje ohlapno vezanih atomov. Razprševanje površinskih atomov je določeno z lokalnim stanjem vezi, ionsko bombardiranje površine pa bolj verjetno razprši ohlapno vezane atome. Ta učinek je bolj izrazit pri nastanku difuzijsko reaktivnih vmesnikov.

(5) Izboljšanje površinske pokritosti in izboljšanje obvoda galvanizacije. Zaradi visokega delovnega tlaka plina pri ionskem galvaniziranju so uparjeni ali napršeni atomi izpostavljeni trkom z atomi plina, kar poveča sipanje, kar ima za posledico dobre lastnosti ovijanja prevleke.

–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua