Konvencionalne tehnike nanašanja trdih premazov

1. Termična CVD tehnologija

Trde prevleke so večinoma kovinsko-keramične prevleke (TiN itd.), ki nastanejo z reakcijo kovine v prevleki in reaktivnim uplinjanjem. Sprva se je uporabljala termična CVD tehnologija za zagotavljanje aktivacijske energije kombinirane reakcije s toplotno energijo pri visoki temperaturi 1000 ℃. Ta temperatura je primerna le za nanašanje TiN in drugih trdih prevlek na orodja iz cementirane karbidne trdine. Zaenkrat je še vedno pomembna tehnologija za nanašanje kompozitnih prevlek TiN-Al2O3 na glave orodij iz cementirane karbidne trdine.

1. Ionski premaz z votlo katodo in ionski premaz z vročo žico

V osemdesetih letih prejšnjega stoletja so za nanašanje prevlečenih rezalnih orodij uporabljali ionsko prevleko z votlo katodo in ionsko prevleko z vročo žico. Obe tehnologiji ionskega prevleka sta tehnologiji ionskega prevleka z obločnim praznjenjem, s stopnjo ionizacije kovine do 20 %~40 %.

1. Ionski premaz s katodnim oblokom

Pojav katodnega obločnega ionskega nanašanja je privedel do razvoja tehnologije nanašanja trdih prevlek na kalupe. Stopnja ionizacije katodnega obločnega ionskega nanašanja je 60 % do 90 %, kar omogoča, da veliko število kovinskih ionov in reakcijskih plinskih ionov doseže površino obdelovanca in ohrani visoko aktivnost, kar povzroči reakcijsko nanašanje in nastanek trdih prevlek, kot je TiN. Trenutno se tehnologija katodnega obločnega ionskega nanašanja uporablja predvsem za nanašanje trdih prevlek na kalupe.

Katodni obločni vir je vir izhlapevanja v trdnem stanju brez fiksne taline, položaj vira obloka pa je mogoče poljubno namestiti, kar izboljša izkoriščenost prostora v prostoru za nanašanje in poveča nosilnost peči. Oblike katodnih obločnih virov vključujejo majhne krožne katodne obločne vire, stebrične obločne vire in pravokotne ploščate velike obločne vire. Različne komponente majhnih obločnih virov, stebričnih obločnih virov in velikih obločnih virov je mogoče ločeno razporediti za nanašanje večplastnih filmov in nano večplastnih filmov. Zaradi visoke stopnje ionizacije kovin pri katodnem obločnem ionskem premazu lahko kovinski ioni absorbirajo več reakcijskih plinov, kar ima za posledico širok razpon postopkov in enostavno delovanje za pridobitev odličnih trdih premazov. Vendar pa so v mikrostrukturi premazne plasti, pridobljene s katodnim obločnim ionskim premazom, prisotne grobe kapljice. V zadnjih letih se je pojavilo veliko novih tehnologij za izboljšanje strukture filmske plasti, kar je izboljšalo kakovost filma obločnega ionskega premaza.