ڪيميائي بخارات جي جمع (CVD). جيئن نالي مان ظاهر آهي، اها هڪ ٽيڪنڪ آهي جيڪا ايٽمي ۽ بين ماليڪيولر ڪيميائي رد عملن ذريعي مضبوط فلمون پيدا ڪرڻ لاءِ گيس جي اڳڪٿي ڪندڙ ري ايڪٽنٽ استعمال ڪندي آهي. PVD جي برعڪس، CVD عمل گهڻو ڪري هڪ اعلي دٻاءُ (هيٺين ويڪيوم) ماحول ۾ ڪيو ويندو آهي، جنهن ۾ اعلي دٻاءُ بنيادي طور تي فلم جي جمع ٿيڻ جي شرح کي وڌائڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي. ڪيميائي بخارات جي جمع کي عام CVD (جنهن کي حرارتي CVD پڻ سڏيو ويندو آهي) ۽ پلازما-بڑھايل ڪيميائي بخارات جي جمع ٿيڻ (PLCVD) ۾ درجه بندي ڪري سگهجي ٿو ان جي مطابق ته پلازما جمع ٿيڻ جي عمل ۾ شامل آهي يا نه. هي حصو PECVD ٽيڪنالاجي تي ڌيان ڏئي ٿو جنهن ۾ PECVD عمل ۽ عام طور تي استعمال ٿيندڙ PECVD سامان ۽ ڪم ڪندڙ اصول شامل آهن.
پلازما-وڌايل ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ هڪ پتلي فلم ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ جي ٽيڪنڪ آهي جيڪا گلو ڊسچارج پلازما کي استعمال ڪندي جمع ڪرڻ جي عمل تي اثر انداز ٿئي ٿي جڏهن ته گهٽ دٻاءُ واري ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ جو عمل ٿي رهيو آهي. هن لحاظ کان، روايتي سي وي ڊي ٽيڪنالاجي گئس فيز مادن ۽ پتلي فلمن جي جمع ٿيڻ جي وچ ۾ ڪيميائي رد عمل کي محسوس ڪرڻ لاءِ اعليٰ سبسٽريٽ گرمي پد تي ڀاڙي ٿي، ۽ ان ڪري ان کي ٿرمل سي وي ڊي ٽيڪنالاجي چئي سگهجي ٿو.
PECVD ڊوائيس ۾، ڪم ڪندڙ گئس جو دٻاءُ تقريباً 5~500 Pa آهي، ۽ اليڪٽران ۽ آئن جي کثافت 109~1012/cm3 تائين پهچي سگهي ٿي، جڏهن ته اليڪٽران جي سراسري توانائي 1~10 eV تائين پهچي سگهي ٿي. PECVD طريقي کي ٻين CVD طريقن کان ڇا فرق آهي اهو آهي ته پلازما ۾ وڏي تعداد ۾ اعليٰ توانائي وارا اليڪٽران هوندا آهن، جيڪي ڪيميائي بخارات جمع ڪرڻ جي عمل لاءِ گهربل چالو ڪرڻ واري توانائي فراهم ڪري سگهن ٿا. اليڪٽران ۽ گيس فيز ماليڪيولز جو ٽڪراءُ گئس ماليڪيولز جي سڙڻ، ڪيموسنسٿيسس، جوش ۽ آئنائيزيشن جي عملن کي فروغ ڏئي سگهي ٿو، انتهائي رد عمل واري ڪيميائي گروپ پيدا ڪري ٿو، اهڙي طرح CVD پتلي فلم جمع ڪرڻ جي درجه حرارت جي حد کي گهٽائي ٿو، CVD عمل کي محسوس ڪرڻ ممڪن بڻائي ٿو، جيڪو اصل ۾ گهٽ درجه حرارت تي، اعليٰ درجه حرارت تي ڪرڻ جي ضرورت آهي. گهٽ درجه حرارت واري پتلي فلم جمع ڪرڻ جو فائدو اهو آهي ته اهو فلم ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ غير ضروري پکيڙ ۽ ڪيميائي رد عمل، فلم يا سبسٽريٽ مواد جي ساختياتي تبديلين ۽ خرابي، ۽ فلم ۽ سبسٽريٽ ۾ وڏي حرارتي دٻاءُ کان بچي سگهي ٿو.
- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا
پوسٽ جو وقت: اپريل-18-2024