آئن بيم اسسٽنٽ ڊيپوزيشن موڊ ۽ ان جي توانائي جي چونڊ

آئن بيم جي مدد سان جمع ڪرڻ جا ٻه مکيه طريقا آهن، هڪ متحرڪ هائبرڊ آهي؛ ٻيو جامد هائبرڊ آهي. پهريون فلم ڏانهن اشارو ڪري ٿو واڌ جي عمل ۾ هميشه آئن بمباري ۽ فلم جي هڪ خاص توانائي ۽ بيم ڪرنٽ سان گڏ هوندو آهي؛ بعد ۾ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي فلم پرت جي ڪجهه نانو ميٽرن کان گهٽ ٿولهه جي هڪ پرت اڳ ۾ جمع ڪئي ويندي آهي، ۽ پوءِ متحرڪ آئن بمباري، ۽ فلم پرت جي واڌ کي ڪيترائي ڀيرا ورجائي سگهجي ٿو.

پتلي فلمن جي آئن بيم مدد سان جمع ڪرڻ لاءِ چونڊيل آئن بيم توانائيون 30 eV کان 100 keV جي حد ۾ آهن. چونڊيل توانائي جي حد ان قسم جي ايپليڪيشن تي منحصر آهي جنهن لاءِ فلم کي سنٿيسائيز ڪيو پيو وڃي. مثال طور، سنکنرن جي حفاظت، اينٽي ميڪيڪل ويئر، آرائشي ڪوٽنگ ۽ ٻين پتلي فلمن جي تياري لاءِ اعليٰ بمباري توانائي چونڊڻ گهرجي. تجربا ڏيکارين ٿا ته، جيئن آئن بيم بمباري جي 20 کان 40 keV توانائي جو انتخاب، سبسٽريٽ مواد ۽ فلم پاڻ نقصان جي ڪارڪردگي ۽ استعمال کي متاثر نه ڪندي. آپٽيڪل ۽ اليڪٽرانڪ ڊوائيسز لاءِ پتلي فلمن جي تياري ۾، گهٽ توانائي واري آئن بيم مدد سان جمع ڪرڻ گهرجي، جيڪو نه رڳو روشني جذب کي گهٽائي ٿو ۽ برقي طور تي چالو ٿيل خرابين جي ٺهڻ کان بچائي ٿو، پر جھلي جي مستحڪم رياست جي جوڙجڪ جي ٺهڻ کي پڻ آسان بڻائي ٿو. مطالعي مان ظاهر ٿيو آهي ته بهترين ملڪيتن سان فلمون 500 eV کان گهٽ آئن توانائيون چونڊڻ سان حاصل ڪري سگهجن ٿيون.

- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا