سخت ڪوٽنگون جمع ڪرڻ لاءِ روايتي طريقا

1. حرارتي سي وي ڊي ٽيڪنالاجي

سخت ڪوٽنگون گهڻو ڪري ڌاتو سيرامڪ ڪوٽنگون (TiN، وغيره) آهن، جيڪي ڪوٽنگ ۾ ڌاتو جي رد عمل ۽ رد عمل واري گيسيفڪيشن سان ٺهيل آهن. شروعات ۾، حرارتي CVD ٽيڪنالاجي کي 1000 ℃ جي اعلي درجه حرارت تي حرارتي توانائي ذريعي ڪمبينيشن رد عمل جي چالو ڪرڻ جي توانائي فراهم ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويو. هي گرمي پد صرف سيمينٽ ٿيل ڪاربائيڊ ٽولز تي TiN ۽ ٻين سخت ڪوٽنگن کي جمع ڪرڻ لاءِ مناسب آهي. اڃا تائين، اهو اڃا تائين سيمينٽ ٿيل ڪاربائيڊ ٽول هيڊز تي TiN - Al2O3 جامع ڪوٽنگن کي جمع ڪرڻ لاءِ هڪ اهم ٽيڪنالاجي آهي.

1. خالي ڪيٿوڊ آئن ڪوٽنگ ۽ گرم تار آرڪ آئن ڪوٽنگ

1980 جي ڏهاڪي ۾، ڪوٽيڊ ڪٽنگ ٽولز کي جمع ڪرڻ لاءِ هولو ڪيٿوڊ آئن ڪوٽنگ ۽ گرم تار آرڪ آئن ڪوٽنگ استعمال ڪئي ويندي هئي. اهي ٻئي آئن ڪوٽنگ ٽيڪنالاجيون آرڪ ڊسچارج آئن ڪوٽنگ ٽيڪنالاجيون آهن، جن جي ڌاتو آئنائيزيشن جي شرح 20٪ ~ 40٪ تائين آهي.

1. ڪيٿوڊ آرڪ آئن ڪوٽنگ

ڪيٿوڊڪ آرڪ آئن ڪيٽنگ جي ظهور سان ٺهيل شين تي سخت ڪوٽنگ جمع ڪرڻ جي ٽيڪنالاجي جي ترقي ٿي آهي. ڪيٿوڊڪ آرڪ آئن ڪوٽنگ جي آئنائيزيشن جي شرح 60٪ ~ 90٪ آهي، جيڪا وڏي تعداد ۾ ڌاتو آئن ۽ رد عمل گيس آئن کي ورڪ پيس جي مٿاڇري تائين پهچڻ جي اجازت ڏئي ٿي ۽ اڃا تائين اعلي سرگرمي برقرار رکي ٿي، جنهن جي نتيجي ۾ رد عمل جمع ٿئي ٿو ۽ سخت ڪوٽنگون جهڙوڪ TiN ٺهنديون آهن. هن وقت، ڪيٿوڊڪ آرڪ آئن ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي بنيادي طور تي ٺهيل شين تي سخت ڪوٽنگ جمع ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندي آهي.

ڪيٿوڊ آرڪ سورس هڪ مضبوط حالت ۾ بخارات جو ذريعو آهي بغير ڪنهن مقرر ٿيل پگھليل تلاءَ جي، ۽ آرڪ سورس جي پوزيشن کي ترتيب سان رکي سگهجي ٿو، ڪوٽنگ روم جي خلائي استعمال جي شرح کي بهتر بڻائي ٿو ۽ فرنس لوڊ ڪرڻ جي گنجائش وڌائي ٿو. ڪيٿوڊ آرڪ سورس جي شڪلن ۾ ننڍا گول ڪيٿوڊ آرڪ سورس، ڪالمن آرڪ سورس، ۽ مستطيل فليٽ وڏا آرڪ سورس شامل آهن. ننڍن آرڪ سورس، ڪالمن آرڪ سورس، ۽ وڏا آرڪ سورس جي مختلف حصن کي الڳ الڳ ترتيب ڏئي سگهجي ٿو ته جيئن ملٽي ليئر فلمون ۽ نانو ملٽي ليئر فلمون جمع ڪري سگهجن. ان دوران، ڪيٿوڊڪ آرڪ آئن ڪوٽنگ جي اعلي ڌاتو آئنائيزيشن جي شرح جي ڪري، ڌاتو آئن وڌيڪ رد عمل گيس جذب ڪري سگهن ٿا، جنهن جي نتيجي ۾ هڪ وسيع عمل جي حد ۽ بهترين سخت ڪوٽنگ حاصل ڪرڻ لاءِ سادو آپريشن ٿئي ٿو. بهرحال، ڪيٿوڊڪ آرڪ آئن ڪوٽنگ ذريعي حاصل ڪيل ڪوٽنگ پرت جي مائڪرو اسٽرڪچر ۾ ٿلها قطرا آهن. تازن سالن ۾، فلم پرت جي جوڙجڪ کي بهتر ڪرڻ لاءِ ڪيتريون ئي نيون ٽيڪنالاجيون سامهون آيون آهن، جنهن آرڪ آئن ڪوٽنگ فلم جي معيار کي بهتر بڻايو آهي.