Când începe depunerea atomilor de membrană, bombardamentul cu ioni are următoarele efecte asupra interfeței membrană/substrat.
(1) Amestecarea fizică. Din cauza injecției de ioni de înaltă energie, a pulverizării atomilor depuși și a injecției prin recul a atomilor de suprafață și a fenomenului de coliziune în cascadă, va provoca amestecarea fără difuzie în zona apropiată de suprafața interfeței membrană/bază a elementelor substratului și a elementelor membranei. Acest efect de amestecare va conduce la formarea unui „pseudo-strat de difuzie” la interfața membrană/bază, adică a unui strat de tranziție între interfața membrană/bază, cu o grosime de până la câțiva microni. Grosime de câțiva micrometri, în care pot apărea chiar și faze noi. Acest lucru este foarte favorabil pentru îmbunătățirea rezistenței de aderență a interfeței membrană/bază.
(2) Difuzie îmbunătățită. Concentrația mare de defecte în regiunea apropiată de suprafață și temperatura ridicată cresc rata de difuzie. Deoarece suprafața este un defect punctual, ionii mici au tendința de a devia suprafața, iar bombardamentul cu ioni are efectul de a spori și mai mult devierea suprafeței și de a spori difuzia reciprocă a atomilor depuși și ai substratului.
(3) Mod de nucleație îmbunătățit. Proprietățile atomului condensat pe suprafața substratului sunt determinate de interacțiunea sa la suprafață și de proprietățile sale de migrare la suprafață. Dacă nu există o interacțiune puternică între atomul condensat și suprafața substratului, atomul va difuza pe suprafață până când nucleează într-o poziție de energie ridicată sau se ciocnește cu alți atomi difuzanți. Acest mod de nucleație se numește nucleație nereactivă. Chiar dacă originalul aparține cazului modului de nucleație nereactiv, prin bombardamentul ionic al suprafeței substratului se pot produce mai multe defecte, crescând densitatea de nucleație, ceea ce este mai propice formării modului de difuzie - nucleație reactivă.
(4) Îndepărtarea preferențială a atomilor legați slab. Pulverizarea atomilor de suprafață este determinată de starea locală de legătură, iar bombardamentul ionic al suprafeței este mai probabil să elimine prin pulverizare atomii legați slab. Acest efect este mai pronunțat în formarea interfețelor reactive la difuzie.
(5) Îmbunătățirea acoperirii suprafeței și îmbunătățirea bypass-ului de placare. Datorită presiunii ridicate a gazului de lucru pentru placarea cu ioni, atomii evaporați sau pulverizați sunt supuși coliziunii cu atomii de gaz pentru a îmbunătăți împrăștierea, rezultând proprietăți bune de înfășurare a acoperirii.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 09 dec. 2023