د کیمیاوي بخاراتو زیرمه (CVD). لکه څنګه چې نوم یې څرګندوي، دا یو تخنیک دی چې د ګازي مخکیني تعاملاتو څخه کار اخلي ترڅو د اټومي او بین مالیکولي کیمیاوي تعاملاتو له لارې جامد فلمونه تولید کړي. د PVD برعکس، د CVD پروسه ډیری وخت په لوړ فشار (ټیټ خلا) چاپیریال کې ترسره کیږي، لوړ فشار په عمده توګه د فلم د زیرمه کولو کچه لوړولو لپاره کارول کیږي. د کیمیاوي بخاراتو زیرمه کول په عمومي CVD (د حرارتي CVD په نوم هم پیژندل کیږي) او د پلازما-زیات شوي کیمیاوي بخار زیرمه (پلازما-زیات شوي کیمیاوي بخار زیرمه. PECVD) کې طبقه بندي کیدی شي د دې له مخې چې ایا پلازما د زیرمه کولو پروسې کې دخیل دی. دا برخه د PECVD ټیکنالوژۍ په شمول د PECVD پروسې او په عام ډول کارول شوي PECVD تجهیزاتو او کاري اصولو باندې تمرکز کوي.
د پلازما-زیات شوي کیمیاوي بخار زیرمه کول د پتلي فلم کیمیاوي بخار زیرمه کولو تخنیک دی چې د ګلو خارجیدو پلازما کاروي ترڅو د زیرمه کولو پروسې باندې تاثیر وکړي پداسې حال کې چې د ټیټ فشار کیمیاوي بخار زیرمه کولو پروسه ترسره کیږي. پدې معنی، دودیز CVD ټیکنالوژي د ګاز مرحلې موادو او د پتلي فلمونو زیرمه کولو ترمنځ کیمیاوي تعامل درک کولو لپاره په لوړه سبسټریټ تودوخې تکیه کوي، او پدې توګه د تودوخې CVD ټیکنالوژي بلل کیدی شي.
په PECVD وسیله کې، د ګازو کاري فشار شاوخوا 5 ~ 500 Pa دی، او د الکترونونو او ایونونو کثافت 109 ~ 1012 / cm3 ته رسیدلی شي، پداسې حال کې چې د الکترونونو اوسط انرژي 1 ~ 10 eV ته رسیدلی شي. هغه څه چې د PECVD میتود د نورو CVD میتودونو څخه توپیر کوي دا دی چې پلازما د لوړ انرژۍ الکترونونو لوی شمیر لري، کوم چې کولی شي د کیمیاوي بخاراتو د زیرمه کولو پروسې لپاره اړین فعالولو انرژي چمتو کړي. د الکترونونو او ګاز مرحلې مالیکولونو ټکر کولی شي د ګازو مالیکولونو د تخریب، کیموسینتیسس، جوش او ایونیزیشن پروسې ته وده ورکړي، خورا فعال کیمیاوي ګروپونه رامینځته کوي، پدې توګه د CVD پتلی فلم زیرمه کولو د تودوخې حد د پام وړ کموي، د CVD پروسې احساس کول ممکن کوي، کوم چې په اصل کې په لوړه تودوخه کې، په ټیټه تودوخه کې ترسره کولو ته اړتیا ده. د ټیټ تودوخې پتلی فلم زیرمه کولو ګټه دا ده چې دا کولی شي د فلم او سبسټریټ ترمنځ غیر ضروري خپریدو او کیمیاوي تعامل، د فلم یا سبسټریټ موادو ساختماني بدلونونو او خرابیدو، او په فلم او سبسټریټ کې د لوی حرارتي فشارونو څخه مخنیوی وکړي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: اپریل-۱۸-۲۰۲۴