د ګوانګ دونګ ژنهوا ټیکنالوژۍ شرکت ته ښه راغلاست.
واحد_بینر

د ایون بیم په مرسته د زیرمه کولو حالت او د هغې د انرژۍ انتخاب

د مقالې سرچینه: د ژین هوا خلا
ولولئ: ۱۰
خپور شوی: ۲۴-۰۳-۱۱

د ایون بیم په مرسته د جمع کولو دوه اصلي طریقې شتون لري، یو متحرک هایبرډ دی؛ بل جامد هایبرډ دی. لومړی هغه فلم ته اشاره کوي چې د ودې په پروسه کې تل د ایون بمبارۍ او فلم د یوې ټاکلې انرژۍ او بیم جریان سره مل وي؛ وروستی د سبسټریټ په سطحه د فلم پرت د څو نانومیټرو څخه کم ضخامت لرونکی طبقه مخکې له مخکې زیرمه کیږي، او بیا متحرک ایون بمبارۍ، او د فلم پرت وده څو ځله تکرار کیدی شي.

微信图片_20240112142132

د ایون بیم انرژي چې د پتلو فلمونو د ایون بیم په مرسته د زیرمو لپاره غوره شوې ده د 30 eV څخه تر 100 keV پورې ده. د غوره شوي انرژي حد د غوښتنلیک ډول پورې اړه لري چې فلم یې ترکیب کیږي. د مثال په توګه، د زنګ وهلو محافظت چمتو کول، د میخانیک ضد پوښاک، آرائشی پوښاک او نور پتلي فلمونه باید د لوړ بمبار انرژي غوره شي. تجربې ښیې چې، لکه د ایون بیم بمبارۍ د 20 څخه تر 40 keV انرژي انتخاب، د سبسټریټ مواد او فلم پخپله به د زیان فعالیت او کارولو اغیزه ونکړي. د نظري او بریښنایی وسیلو لپاره د پتلو فلمونو په چمتو کولو کې، د ټیټ انرژي ایون بیم په مرسته زیرمو باید غوره شي، کوم چې نه یوازې د رڼا جذب کموي او د بریښنایی فعال شوي نیمګړتیاو رامینځته کیدو مخه نیسي، بلکه د غشا د ثابت حالت جوړښت رامینځته کول هم اسانه کوي. مطالعاتو ښودلې چې د غوره ملکیتونو سره فلمونه د 500 eV څخه ټیټ د ایون انرژي غوره کولو سره ترلاسه کیدی شي.

- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا


د پوسټ وخت: مارچ-۱۱-۲۰۲۴