۱. د تبخیر کچه به د تبخیر شوي پوښ په ځانګړتیاوو اغیزه وکړي.
د تبخیر کچه په زیرمه شوي فلم باندې ډیره اغیزه لري. ځکه چې د کوټ جوړښت چې د ټیټ زیرمه شوي نرخ لخوا رامینځته شوی نرم دی او د لویو ذراتو زیرمه کولو لپاره اسانه دی، نو دا خورا خوندي ده چې د کوټ جوړښت د کمپیکټنس ډاډمن کولو لپاره د لوړ تبخیر نرخ غوره کړئ. کله چې په ویکیوم چیمبر کې د پاتې ګاز فشار ثابت وي، د سبسټریټ بمبارۍ کچه یو ثابت ارزښت دی. له همدې امله، د لوړې زیرمه شوي نرخ غوره کولو وروسته په زیرمه شوي فلم کې موجود پاتې ګاز به کم شي، پدې توګه د پاتې ګاز مالیکولونو او تبخیر شوي فلم ذراتو ترمنځ کیمیاوي تعامل کموي. له همدې امله، د زیرمه شوي فلم پاکوالی ښه کیدی شي. دا باید په پام کې ونیول شي چې که د زیرمه کولو کچه ډیره ګړندۍ وي، دا ممکن د فلم داخلي فشار زیات کړي، دا به په فلم کې نیمګړتیاوې زیاتې کړي، او حتی د فلم د ماتیدو لامل شي. په ځانګړې توګه، د تعامل کونکي تبخیر پلیټینګ په پروسه کې، د دې لپاره چې د تعامل ګاز په بشپړ ډول د تبخیر شوي فلم موادو ذراتو سره غبرګون وکړي، تاسو کولی شئ د ټیټ زیرمه کولو کچه غوره کړئ. البته، مختلف مواد مختلف تبخیر نرخونه غوره کوي. د عملي مثال په توګه - د انعکاسي فلم جمع کول، که چیرې د فلم ضخامت 600×10-8cm وي او د تبخیر وخت 3s وي، نو انعکاسي 93٪ ده. په هرصورت، که چیرې د تبخیر کچه د ورته ضخامت حالت لاندې ورو شي، نو د فلم جمع کولو بشپړولو لپاره 10 دقیقې وخت نیسي. پدې وخت کې، د فلم ضخامت ورته دی. په هرصورت، انعکاسي 68٪ ته راټیټ شوی.
۲. د فرعي تودوخې درجه به د تبخیر په پوښښ اغیزه وکړي
د سبسټریټ تودوخه د تبخیر په پوښ باندې ډیره اغیزه لري. هغه پاتې ګاز مالیکولونه چې د سبسټریټ په سطحه د لوړې سبسټریټ تودوخې کې جذب شوي دي په اسانۍ سره لرې کیدی شي. په ځانګړي توګه د اوبو بخار مالیکولونو له مینځه وړل ډیر مهم دي. سربیره پردې، په لوړه تودوخه کې، دا نه یوازې د فزیکي جذب څخه کیمیاوي جذب ته بدلون هڅول اسانه دي، پدې توګه د ذراتو ترمنځ د تړلو ځواک زیاتوي. سربیره پردې، دا کولی شي د بخار مالیکولونو د بیا کریسټال کولو تودوخې او د سبسټریټ تودوخې ترمنځ توپیر هم کم کړي، پدې توګه د فلم پر بنسټ انٹرفیس کې داخلي فشار کموي یا له منځه وړي. سربیره پردې، ځکه چې د سبسټریټ تودوخه د فلم د کریسټالین حالت سره تړاو لري، ډیری وختونه د ټیټ سبسټریټ تودوخې یا هیڅ تودوخې حالت لاندې د بې شکل یا مایکرو کریسټالین پوښونو جوړول اسانه دي. برعکس، کله چې تودوخه لوړه وي، د کریسټالین پوښ جوړول اسانه دي. د سبسټریټ تودوخې زیاتوالی د کوټینګ میخانیکي ملکیتونو ښه کولو لپاره هم ګټور دی. البته، د سبسټریټ تودوخه باید ډیره لوړه نه وي ترڅو د کوټینګ تبخیر مخه ونیسي.
۳. په ویکیوم چیمبر کې د ګاز پاتې فشار به د فلم په ځانګړتیاوو اغیزه وکړي.
د خلا په خونه کې د پاتې ګازو فشار د غشا په فعالیت باندې خورا لوی تاثیر لري. د پاتې ګازو مالیکولونه چې ډیر لوړ فشار لري نه یوازې د تبخیر کونکو ذراتو سره ټکر کول اسانه دي، کوم چې به د سبسټریټ کې د خلکو متحرک انرژي کمه کړي او د فلم چپکولو اغیزه وکړي. سربیره پردې، د پاتې ګازو ډیر لوړ فشار به د فلم پاکوالي په جدي توګه اغیزه وکړي او د کوټینګ فعالیت به کم کړي.
۴. د تبخیر د تودوخې اغیز د تبخیر په پوښښ باندې
د تبخیر د تودوخې اغیز د غشا په فعالیت باندې د تبخیر د اندازې د بدلون له لارې ښودل کیږي. کله چې د تبخیر تودوخه لوړه وي، د تبخیر تودوخه به کمه شي. که چیرې د غشا مواد د تبخیر د تودوخې څخه پورته تبخیر شي، حتی د تودوخې لږ بدلون کولی شي د غشا موادو د تبخیر په کچه کې تیز بدلون رامینځته کړي. له همدې امله، دا خورا مهمه ده چې د فلم د زیرمه کولو پرمهال د تبخیر تودوخه په دقت سره کنټرول کړئ ترڅو د تبخیر سرچینې د تودوخې په وخت کې د تودوخې لوی تدریجي څخه مخنیوی وشي. د فلم موادو لپاره چې په اسانۍ سره لوړیږي، دا هم خورا مهمه ده چې مواد پخپله د تبخیر او نورو اقداماتو لپاره د تودوخې په توګه غوره کړئ.
۵. د سبسټریټ او کوټینګ چیمبر پاکول به د کوټینګ فعالیت باندې اغیزه وکړي.
د سبسټریټ او کوټینګ چیمبر د پاکوالي اغیز د کوټینګ په فعالیت باندې له پامه غورځول کیدی نشي. دا به نه یوازې د زیرمه شوي فلم پاکوالي باندې جدي اغیزه وکړي، بلکه د فلم چپکتیا به هم کمه کړي. له همدې امله، د سبسټریټ پاکول، د ویکیوم کوټینګ چیمبر او د هغې اړوند اجزاو پاکولو درملنه (لکه د سبسټریټ چوکاټ) او د سطحې ډیګاس کول ټول د ویکیوم کوټینګ پروسې کې لازمي پروسې دي.
د پوسټ وخت: فبروري-۲۸-۲۰۲۳