ଆୟନ ବିମ୍-ସହାୟିତ ଜମାର ଦୁଇଟି ମୁଖ୍ୟ ପଦ୍ଧତି ଅଛି, ଗୋଟିଏ ହେଉଛି ଗତିଶୀଳ ହାଇବ୍ରିଡ୍; ଅନ୍ୟଟି ହେଉଛି ସ୍ଥିର ହାଇବ୍ରିଡ୍। ପ୍ରଥମଟି ହେଉଛି ଅଭିବୃଦ୍ଧି ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଫିଲ୍ମକୁ ବୁଝାଏ ଯାହା ସର୍ବଦା ଆୟନ ବୋମାମାଡ଼ ଏବଂ ଫିଲ୍ମର ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ଶକ୍ତି ଏବଂ ବିମ୍ ସ୍ରୋତ ସହିତ ରହିଥାଏ; ପରବର୍ତ୍ତୀଟି ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠରେ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର କିଛି ନାନୋମିଟରରୁ କମ୍ ବେଧତାର ଏକ ସ୍ତର ପୂର୍ବରୁ ଜମା ହୋଇଥାଏ, ଏବଂ ତା'ପରେ ଗତିଶୀଳ ଆୟନ ବୋମାମାଡ଼, ଏବଂ ଏହାକୁ ଅନେକ ଥର ପୁନରାବୃତ୍ତି କରାଯାଇପାରିବ ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ବୃଦ୍ଧି।
ପତଳା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ପାଇଁ ବଛାଯାଇଥିବା ଆୟନ ବିମ୍ ଶକ୍ତି 30 eV ରୁ 100 keV ପରିସର ମଧ୍ୟରେ। ବାଛିଥିବା ଶକ୍ତି ପରିସର ଫିଲ୍ମଟି କେଉଁ ପ୍ରକାରର ସଂଶ୍ଳେଷିତ ହେଉଛି ତାହା ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, କ୍ଷୟ ସୁରକ୍ଷା, ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପରିଧାନ ବିରୋଧୀ, ସାଜସଜ୍ଜା ଆବରଣ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ପତଳା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ଉଚ୍ଚ ବୋମା ଶକ୍ତି ଚୟନ କରାଯିବା ଉଚିତ। ପରୀକ୍ଷଣଗୁଡ଼ିକ ଦର୍ଶାଉଛି ଯେ, ଯେପରିକି ଆୟନ ବିମ୍ ବୋମା ଶକ୍ତିର 20 ରୁ 40keV ଶକ୍ତିର ପସନ୍ଦ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ନିଜେ କ୍ଷତିର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ବ୍ୟବହାରକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରିବ ନାହିଁ। ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଏବଂ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଡିଭାଇସ୍ ପାଇଁ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତିରେ, ନିମ୍ନ ଶକ୍ତି ଆୟନ ବିମ୍ ସହାୟତାରେ ଜମା ଚୟନ କରାଯିବା ଉଚିତ, ଯାହା କେବଳ ଆଲୋକ ଶୋଷଣକୁ ହ୍ରାସ କରେ ନାହିଁ ଏବଂ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଭାବରେ ସକ୍ରିୟ ତ୍ରୁଟି ଗଠନକୁ ଏଡ଼ାଏ ନାହିଁ, ବରଂ ଝିଲ୍ଲୀର ସ୍ଥିର ଅବସ୍ଥା ଗଠନକୁ ମଧ୍ୟ ସହଜ କରିଥାଏ। ଅଧ୍ୟୟନଗୁଡ଼ିକ ଦର୍ଶାଇଛି ଯେ 500 eV ରୁ କମ୍ ଆୟନ ଶକ୍ତି ବାଛି ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଗୁଣଧର୍ମ ସହିତ ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକ ପାଇପାରିବେ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ମାର୍ଚ୍ଚ-୧୧-୨୦୨୪