- ଥର୍ମାଲ୍ ସିଭିଡି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା
କଠିନ ଆବରଣ ମୁଖ୍ୟତଃ ଧାତୁ ସିରାମିକ୍ ଆବରଣ (TiN, ଇତ୍ୟାଦି) ଅଟେ, ଯାହା ଆବରଣରେ ଧାତୁର ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସିଫିକେସନ୍ ଦ୍ୱାରା ଗଠିତ ହୋଇଥାଏ। ପ୍ରଥମେ, 1000 ℃ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ତାପଜ ଶକ୍ତି ଦ୍ୱାରା ମିଶ୍ରଣ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାର ସକ୍ରିୟକରଣ ଶକ୍ତି ପ୍ରଦାନ କରିବା ପାଇଁ ତାପଜ CVD ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇଥିଲା। ଏହି ତାପମାତ୍ରା କେବଳ ସିମେଣ୍ଟେଡ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଉପକରଣରେ TiN ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କଠିନ ଆବରଣ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ। ଏପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ଏହା ସିମେଣ୍ଟେଡ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ଉପକରଣ ମୁଣ୍ଡରେ TiN – Al2O3 କମ୍ପୋଜିଟ୍ ଆବରଣ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା।
- ଫମ୍ପା କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ଏବଂ ଗରମ ତାର ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣ
୧୯୮୦ ଦଶକରେ, ଆବରଣୀୟ କଟିଂ ଉପକରଣ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ଫମ୍ପା କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ଏବଂ ଗରମ ତାର ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଉଥିଲା। ଏହି ଉଭୟ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ହେଉଛି ଆର୍କ ଡିସଚାର୍ଜ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା, ଯାହାର ଧାତୁ ଆୟନାଇଜେସନ୍ ହାର ୨୦% ~ ୪୦% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ।
- କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣ
କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଆୟନ୍ କ୍ୟାଟିଂର ଆବିର୍ଭାବ ଯୋଗୁଁ ଛାଞ୍ଚରେ କଠିନ ଆବରଣ ଜମା କରିବାର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବିକାଶ ହୋଇଛି। କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣର ଆୟନାଇଜେସନ୍ ହାର 60% ~ 90%, ଯାହା ଫଳରେ ବହୁ ସଂଖ୍ୟକ ଧାତୁ ଆୟନ୍ ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ଆୟନ୍ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରର ପୃଷ୍ଠରେ ପହଞ୍ଚିପାରିବେ ଏବଂ ତଥାପି ଉଚ୍ଚ କାର୍ଯ୍ୟକଳାପ ବଜାୟ ରଖିପାରିବେ, ଯାହା ଫଳରେ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଜମା ଏବଂ TiN ଭଳି କଠିନ ଆବରଣ ଗଠନ ହୁଏ। ବର୍ତ୍ତମାନ, କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ମୁଖ୍ୟତଃ ଛାଞ୍ଚରେ କଠିନ ଆବରଣ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସ ହେଉଛି ଏକ ସ୍ଥିର ତରଳିତ ପୁଲ ବିନା ଏକ କଠିନ-ଅବସ୍ଥା ବାଷ୍ପୀଭବନ ଉତ୍ସ, ଏବଂ ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସ ସ୍ଥିତିକୁ ମନଇଚ୍ଛା ଭାବରେ ରଖାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ଆବରଣ କୋଠରୀର ସ୍ଥାନ ବ୍ୟବହାର ହାରକୁ ଉନ୍ନତ କରିଥାଏ ଏବଂ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ଲୋଡିଂ କ୍ଷମତା ବୃଦ୍ଧି କରିଥାଏ। କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସର ଆକୃତିରେ ଛୋଟ ବୃତ୍ତାକାର କ୍ୟାଥୋଡ୍ ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସ, ସ୍ତମ୍ଭାକାର ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସ ଏବଂ ଆୟତାକାର ସମତଳ ବଡ଼ ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଛୋଟ ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସ, ସ୍ତମ୍ଭାକାର ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସ ଏବଂ ବଡ଼ ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସର ବିଭିନ୍ନ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକୁ ବହୁ-ସ୍ତର ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ନାନୋ ବହୁସ୍ତର ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବା ପାଇଁ ପୃଥକ ଭାବରେ ବ୍ୟବସ୍ଥା କରାଯାଇପାରିବ। ଏହି ସମୟରେ, କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ୍ ଆୟନ୍ ଆବରଣର ଉଚ୍ଚ ଧାତୁ ଆୟନାଇଜେସନ୍ ହାର ଯୋଗୁଁ, ଧାତୁ ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ଅଧିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକୁ ଶୋଷଣ କରିପାରିବ, ଯାହା ଫଳରେ ଏକ ବିସ୍ତୃତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରିସର ଏବଂ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କଠିନ ଆବରଣ ପାଇବା ପାଇଁ ସରଳ କାର୍ଯ୍ୟ ହୋଇଥାଏ। ତଥାପି, କ୍ୟାଥୋଡିକ୍ ଆର୍କ୍ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ଦ୍ୱାରା ପ୍ରାପ୍ତ ଆବରଣ ସ୍ତରର ମାଇକ୍ରୋ-ସଂରଚନାରେ ମୋଟା ବୁନ୍ଦା ଅଛି। ସାମ୍ପ୍ରତିକ ବର୍ଷଗୁଡ଼ିକରେ, ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ଗଠନକୁ ପରିମାର୍ଜିତ କରିବା ପାଇଁ ଅନେକ ନୂତନ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଉଭା ହୋଇଛି, ଯାହା ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ଫିଲ୍ମର ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରିଛି।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁଲାଇ-୨୦-୨୦୨୩