Pali mitundu iwiri ikuluikulu ya ma ion mtengo wothandizidwa ndi ion, imodzi ndi yosakanizidwa; ina ndi static haibridi. Woyamba amatanthauza filimu mu kukula ndondomeko nthawi zonse limodzi ndi mphamvu inayake ndi mtengo panopa wa ion bombardment ndi filimu; yotsirizira ndi chisanadze madipoziti pamwamba pa gawo lapansi wosanjikiza zosakwana nanometers makulidwe a filimu wosanjikiza, ndiyeno zazikulu ion bombardment, ndipo akhoza kubwerezedwa nthawi zambiri ndi kukula kwa filimu wosanjikiza.
Mphamvu za ion mtengo wa ion zosankhidwa kuti zithandizire kuyika kwa mafilimu opyapyala zili pakati pa 30 eV mpaka 100 keV. Mphamvu zosiyanasiyana zomwe zasankhidwa zimadalira mtundu wa ntchito yomwe filimuyo ikupangidwira. Mwachitsanzo, kukonzekera kwa dzimbiri chitetezo, kuvala odana ndi makina, zokutira zokongoletsera ndi mafilimu ena woonda ayenera kusankhidwa apamwamba bombardment mphamvu. Zoyeserera zikuwonetsa kuti, monga kusankha kwa 20 mpaka 40keV mphamvu ya bombardment ya ion beam, zinthu zapansi panthaka ndi filimu yokha sizingakhudze magwiridwe antchito ndikugwiritsa ntchito kuwonongeka. Pokonzekera mafilimu opyapyala a zipangizo zamagetsi ndi zamagetsi, mphamvu zochepa za ion mtengo wothandizira ziyenera kusankhidwa, zomwe sizimangochepetsa kuwala kwa kuwala ndikupewa mapangidwe a zowonongeka zamagetsi, komanso zimathandizira kupanga mapangidwe okhazikika a nembanemba. Kafukufuku wasonyeza kuti mafilimu omwe ali ndi katundu wabwino amatha kupezeka posankha mphamvu za ion zotsika kuposa 500 eV.
-Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina opangira vacuumGuangdong Zhenhua
Nthawi yotumiza: Mar-11-2024