Zotsatira za bombardment ya ion pa filimu wosanjikiza / mawonekedwe a gawo lapansi

Kuyika kwa ma atomu a nembanemba kumayamba, bombardment ya ion imakhala ndi zotsatirazi pa mawonekedwe a nembanemba / gawo lapansi.

(1) Kusakanizana mwakuthupi. Chifukwa cha jekeseni wa ion-energy, sputtering wa ma atomu oyikidwa ndi jekeseni wa recoil wa maatomu akumtunda ndi kugunda kwa zochitika, zidzachititsa pafupi ndi pamwamba pa mawonekedwe a nembanemba / m'munsi mwa mawonekedwe a gawo lapansi ndi nembanemba ya kusanganikirana kosagwirizana, kusakaniza kumeneku kudzakhala kothandiza kupanga mapangidwe a nembanemba-wosanjikiza "wosanjikiza" pakati pa nembanemba/mawonekedwe oyambira, mpaka ma microns ochepa. Ma micrometer angapo okhuthala, momwe magawo atsopano angawonekere. Izi ndizabwino kwambiri kupititsa patsogolo mphamvu yomatira ya nembanemba / mawonekedwe oyambira.

(2) Kuchulukitsa kufalikira. Kuchuluka kwa chilema m'dera lapafupi ndi kutentha kwakukulu kumawonjezera kuchuluka kwa kufalikira. Popeza kuti pamwamba pake ndi cholakwika, ma ion ang'onoang'ono amakhala ndi chizolowezi chopotoza pamwamba, ndipo bombardment ya ion imakhala ndi zotsatira zopititsira patsogolo kupotoza kwa pamwamba ndikuwonjezera kufalikira kwa maatomu oyikidwa ndi gawo lapansi.

(3) Kupititsa patsogolo nucleation mode. The katundu wa atomu condensed pamwamba gawo lapansi zimatsimikiziridwa ndi kugwirizana kwake pamwamba ndi kusamuka kwake pamwamba. Ngati palibe kuyanjana kwamphamvu pakati pa atomu yofupikitsidwa ndi pamwamba pa gawo lapansi, atomuyo imafalikira pamtunda mpaka itakhazikika pamalo amphamvu kwambiri kapena itawombana ndi maatomu ena omwe amafalikira. Nucleation iyi imatchedwa non-reactive nucleation. Ngakhale choyambirira ndi nkhani ya sanali zotakasika nucleation akafuna, ndi ion bombardment wa gawo lapansi angatulutse zilema zambiri, kuonjezera nucleation kachulukidwe, amene amathandiza kwambiri mapangidwe mayamwidwe - zotakasika nucleation mode.

(4) Kuchotsa mwamakonda kwa maatomu omangidwa momasuka. Kuphulika kwa maatomu akumtunda kumatsimikiziridwa ndi momwe ma atomu amagwirira ntchito, ndipo kuphulika kwa ayoni pamtunda kumakhala kosavuta kutulutsa maatomu omangika momasuka. Izi zimawonekera kwambiri popanga ma diffusion-reactive interfaces.

(5) Kupititsa patsogolo kuphimba pamwamba ndi kupititsa patsogolo plating bypass. Chifukwa cha kuchuluka kwa gasi wopangira ma ion plating, ma atomu osungunuka kapena ophwanyidwa amakumana ndi maatomu agasi kuti apititse patsogolo kubalalikana, zomwe zimapangitsa kuti maatomu opaka bwino azikhala mozungulira.

-Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina opangira vacuumGuangdong Zhenhua