जब झिल्ली परमाणुहरूको निक्षेपण सुरु हुन्छ, आयन बमबारीले झिल्ली/सब्सट्रेट इन्टरफेसमा निम्न प्रभाव पार्छ।
(१) भौतिक मिश्रण। उच्च-ऊर्जा आयन इन्जेक्सन, जम्मा भएका परमाणुहरूको स्पटरिंग र सतह परमाणुहरूको रिकोइल इन्जेक्सन र क्यास्केड टक्कर घटनाको कारणले गर्दा, सब्सट्रेट तत्वहरूको झिल्ली/आधार इन्टरफेसको नजिकको सतह क्षेत्र र गैर-प्रसार मिश्रणको झिल्ली तत्वहरू निम्त्याउनेछ, यो मिश्रण प्रभाव झिल्ली/आधार इन्टरफेस "स्यूडो-प्रसार तह" को गठनको लागि अनुकूल हुनेछ, अर्थात्, झिल्ली/आधार इन्टरफेस बीचको संक्रमण तह, केही माइक्रोन बाक्लो सम्म। केही माइक्रोमिटर बाक्लो, जसमा नयाँ चरणहरू पनि देखा पर्न सक्छन्। यो झिल्ली/आधार इन्टरफेसको आसंजन शक्ति सुधार गर्न धेरै अनुकूल छ।
(२) बढेको प्रसार। नजिकको सतह क्षेत्रमा उच्च दोष सांद्रता र उच्च तापक्रमले प्रसार दर बढाउँछ। सतह एक बिन्दु दोष भएकोले, साना आयनहरूमा सतहलाई विचलित गर्ने प्रवृत्ति हुन्छ, र आयन बमबारीले सतह विचलनलाई अझ बढाउने र जम्मा र सब्सट्रेट परमाणुहरूको पारस्परिक प्रसार बढाउने प्रभाव पार्छ।
(३) सुधारिएको न्यूक्लिएसन मोड। सब्सट्रेट सतहमा गाढा परमाणुको गुणहरू यसको सतह अन्तरक्रिया र सतहमा यसको स्थानान्तरण गुणहरूद्वारा निर्धारण गरिन्छ। यदि गाढा परमाणु र सब्सट्रेटको सतह बीच कुनै बलियो अन्तरक्रिया छैन भने, परमाणु उच्च-ऊर्जा स्थितिमा केन्द्रक नभएसम्म वा अन्य फैलिने परमाणुहरूसँग ठोक्किएसम्म सतहमा फैलिनेछ। न्यूक्लिएसनको यो मोडलाई गैर-प्रतिक्रियाशील न्यूक्लिएसन भनिन्छ। मूल गैर-प्रतिक्रियाशील न्यूक्लिएसन मोडको मामलामा भए पनि, सब्सट्रेट सतहको आयन बमबारीले थप दोषहरू उत्पन्न गर्न सक्छ, न्यूक्लिएसन घनत्व बढाउँछ, जुन प्रसार - प्रतिक्रियाशील न्यूक्लिएसन मोडको गठनको लागि बढी अनुकूल छ।
(४) खुकुलो रूपमा बाँधिएका परमाणुहरूको प्राथमिकतापूर्वक हटाउने। सतहका परमाणुहरूको थुप्रो स्थानीय बन्धन अवस्थाद्वारा निर्धारण गरिन्छ, र सतहको आयन बमबारीले खुकुलो रूपमा बाँधिएका परमाणुहरू बाहिर निस्कने सम्भावना बढी हुन्छ। यो प्रभाव प्रसार-प्रतिक्रियाशील इन्टरफेसहरूको गठनमा बढी स्पष्ट हुन्छ।
(५) सतह कभरेजमा सुधार र प्लेटिङ बाइपासको वृद्धि। आयन प्लेटिङको उच्च कार्यशील ग्यास चापको कारण, वाष्पीकरण वा स्पटर गरिएका परमाणुहरू छरपस्ट पार्न बढाउन ग्यास परमाणुहरूसँग टक्करको शिकार हुन्छन्, जसले गर्दा राम्रो कोटिंग र्याप-अराउन्ड गुणहरू हुन्छन्।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: डिसेम्बर-०९-२०२३