1, Formazzjoni ta' komposti tal-metall fuq il-wiċċ fil-mira
Fejn jiġi ffurmat il-kompost fil-proċess tal-formazzjoni ta' kompost minn wiċċ tal-metall fil-mira permezz ta' proċess ta' sputtering reattiv? Peress li r-reazzjoni kimika bejn il-partiċelli tal-gass reattiv u l-atomi tal-wiċċ fil-mira tipproduċi atomi tal-kompost, li ġeneralment tkun eżotermika, is-sħana tar-reazzjoni trid ikollha mod kif titmexxa 'l barra, inkella r-reazzjoni kimika ma tistax tkompli. Taħt kundizzjonijiet ta' vakwu, it-trasferiment tas-sħana bejn il-gassijiet mhux possibbli, għalhekk ir-reazzjoni kimika trid isseħħ fuq wiċċ solidu. L-isputtering tar-reazzjoni jiġġenera komposti fuq uċuħ fil-mira, uċuħ tas-sottostrat, u uċuħ strutturali oħra. Il-ġenerazzjoni ta' komposti fuq il-wiċċ tas-sottostrat hija l-għan, il-ġenerazzjoni ta' komposti fuq uċuħ strutturali oħra hija ħela ta' riżorsi, u l-ġenerazzjoni ta' komposti fuq il-wiċċ fil-mira tibda bħala sors ta' atomi tal-kompost u ssir ostaklu għall-provvista kontinwa ta' aktar atomi tal-kompost.
2, Il-fatturi tal-impatt tal-avvelenament fil-mira
Il-fattur ewlieni li jaffettwa l-avvelenament fil-mira huwa l-proporzjon tal-gass ta' reazzjoni u l-gass tal-isputtering, wisq gass ta' reazzjoni jwassal għall-avvelenament fil-mira. Il-proċess ta' sputtering reattiv jitwettaq fil-wiċċ tal-mira fejn iż-żona tal-kanal tal-isputtering tidher li hija mgħottija mill-kompost ta' reazzjoni jew il-kompost ta' reazzjoni jiġi mqaxxar u jerġa' jiġi espost għall-wiċċ tal-metall. Jekk ir-rata tal-ġenerazzjoni tal-kompost hija akbar mir-rata tat-tqaxxir tal-kompost, iż-żona tal-kopertura tal-kompost tiżdied. B'ċerta qawwa, l-ammont ta' gass ta' reazzjoni involut fil-ġenerazzjoni tal-kompost jiżdied u r-rata tal-ġenerazzjoni tal-kompost tiżdied. Jekk l-ammont ta' gass ta' reazzjoni jiżdied b'mod eċċessiv, iż-żona tal-kopertura tal-kompost tiżdied. U jekk ir-rata tal-fluss tal-gass ta' reazzjoni ma tistax tiġi aġġustata fil-ħin, ir-rata taż-żieda fiż-żona tal-kopertura tal-kompost ma tiġix soppressa, u l-kanal tal-isputtering ikun mgħotti aktar mill-kompost, meta l-mira tal-isputtering tkun mgħottija kompletament mill-kompost, il-mira tkun kompletament avvelenata.
3, Fenomenu ta' avvelenament fil-mira
(1) Akkumulazzjoni ta' joni pożittivi: Meta l-mira tiġi avvelenata, jifforma saff ta' film iżolanti fuq il-wiċċ tal-mira, u l-joni pożittivi jilħqu l-wiċċ tal-katodu fil-mira minħabba l-imblukkar tas-saff iżolanti. Ma jidħlux direttament fil-wiċċ tal-katodu fil-mira, iżda jakkumulaw fuq il-wiċċ tal-mira, u faċli biex jipproduċu kamp kiesaħ għall-iskarika tal-ark — ark, sabiex l-isputtering tal-katodu ma jkunx jista' jkompli.
(2) l-għajbien tal-anodu: meta l-mira tkun qed tivvelenja, il-ħajt tal-kamra tal-vakwu ertjat jiddepożita wkoll film iżolanti, u l-elettroni li jilħqu l-anodu ma jistgħux jidħlu fl-anodu, u dan jifforma l-fenomenu tal-għajbien tal-anodu.
4, Spjegazzjoni fiżika tal-avvelenament fil-mira
(1) B'mod ġenerali, il-koeffiċjent tal-emissjoni tal-elettroni sekondarji tal-komposti tal-metall huwa ogħla minn dak tal-metalli. Wara l-avvelenament fil-mira, il-wiċċ tal-mira huwa kollu komposti tal-metall, u wara li jiġi bbumbardjat minn joni, in-numru ta' elettroni sekondarji rilaxxati jiżdied, li jtejjeb il-konduttività tal-ispazju u jnaqqas l-impedenza tal-plażma, u jwassal għal vultaġġ ta' sputtering aktar baxx. Dan inaqqas ir-rata ta' sputtering. Ġeneralment il-vultaġġ ta' sputtering tal-sputtering tal-manjetron huwa bejn 400V-600V, u meta jseħħ avvelenament fil-mira, il-vultaġġ ta' sputtering jitnaqqas b'mod sinifikanti.
(2) Ir-rata ta' sputtering oriġinali tal-mira tal-metall u l-mira komposta hija differenti, ġeneralment il-koeffiċjent tal-sputtering tal-metall huwa ogħla mill-koeffiċjent tal-sputtering tal-kompost, għalhekk ir-rata ta' sputtering hija baxxa wara l-avvelenament tal-mira.
(3) L-effiċjenza tal-isputtering tal-gass reattiv tal-isputtering hija oriġinarjament aktar baxxa mill-effiċjenza tal-isputtering tal-gass inert, għalhekk ir-rata komprensiva tal-isputtering tonqos wara li l-proporzjon tal-gass reattiv jiżdied.
5, Soluzzjonijiet għall-avvelenament fil-mira
(1) Adotta provvista ta' enerġija ta' frekwenza medja jew provvista ta' enerġija ta' frekwenza tar-radju.
(2) Adotta l-kontroll b'ċirkwit magħluq tad-dħul tal-gass tar-reazzjoni.
(3) Adotta miri doppji
(4) Ikkontrolla l-bidla fil-modalità tal-kisi: Qabel il-kisi, il-kurva tal-effett tal-isteresi tal-avvelenament fil-mira tinġabar sabiex il-fluss tal-arja tad-dħul ikun ikkontrollat fil-parti ta' quddiem tal-produzzjoni tal-avvelenament fil-mira biex jiġi żgurat li l-proċess ikun dejjem fil-modalità qabel ma r-rata ta' depożizzjoni tinżel sew.
–Dan l-artiklu huwa ppubblikat minn Guangdong Zhenhua Technology, manifattur ta’ tagħmir ta’ kisi bil-vakwu.
Ħin tal-pubblikazzjoni: 07 ta' Novembru 2022