Meta tibda d-depożizzjoni tal-atomi tal-membrana, il-bumbardament tal-joni jkollu l-effetti li ġejjin fuq l-interfaċċja tal-membrana/sottostrat.
(1) Taħlit fiżiku. Minħabba l-injezzjoni ta' joni b'enerġija għolja, it-tbexxix tal-atomi depożitati u l-injezzjoni ta' recoil tal-atomi tal-wiċċ u l-fenomenu ta' ħabta kaskata, se jikkawża li l-elementi tas-sottostrat u l-elementi tal-membrana fiż-żona qrib il-wiċċ tal-interfaċċja tal-membrana/bażi jiġu mħallta mingħajr diffużjoni. Dan l-effett ta' taħlit se jwassal għall-formazzjoni tas-saff ta' "psewdo-diffużjoni" tal-interfaċċja tal-membrana/bażi, jiġifieri, is-saff ta' transizzjoni bejn l-interfaċċja tal-membrana/bażi, sa ftit mikroni ħoxnin. Ftit mikrometri ħoxnin, fejn jistgħu saħansitra jidhru fażijiet ġodda. Dan huwa favorevoli ħafna biex tittejjeb is-saħħa tal-adeżjoni tal-interfaċċja tal-membrana/bażi.
(2) Diffużjoni msaħħa. Il-konċentrazzjoni għolja ta' difetti fir-reġjun qrib il-wiċċ u t-temperatura għolja jżidu r-rata ta' diffużjoni. Peress li l-wiċċ huwa difett puntwali, joni żgħar għandhom it-tendenza li jiddeflettu l-wiċċ, u l-bumbardament tal-joni għandu l-effett li jsaħħaħ aktar id-deflessjoni tal-wiċċ u jtejjeb id-diffużjoni reċiproka tal-atomi depożitati u tas-sottostrat.
(3) Mod ta' nukleazzjoni mtejjeb. Il-proprjetajiet tal-atomu kkondensat fuq il-wiċċ tas-sottostrat huma determinati mill-interazzjoni tal-wiċċ tiegħu u l-proprjetajiet ta' migrazzjoni tiegħu fuq il-wiċċ. Jekk ma jkunx hemm interazzjoni qawwija bejn l-atomu kkondensat u l-wiċċ tas-sottostrat, l-atomu se jinfirex fuq il-wiċċ sakemm jinnuklea f'pożizzjoni ta' enerġija għolja jew jaħbat ma' atomi oħra li jxerrdu. Dan il-mod ta' nukleazzjoni jissejjaħ nukleazzjoni mhux reattiva. Anke jekk l-oriġinali jappartjeni għall-każ tal-mod ta' nukleazzjoni mhux reattiva, permezz tal-bumbardament tal-joni tal-wiċċ tas-sottostrat jista' jipproduċi aktar difetti, u b'hekk tiżdied id-densità tan-nukleazzjoni, li hija aktar favorevoli għall-formazzjoni ta' diffużjoni - mod ta' nukleazzjoni reattiva.
(4) Tneħħija preferenzjali ta' atomi marbuta b'mod laxk. L-isputtering tal-atomi tal-wiċċ huwa determinat mill-istat lokali tal-irbit, u l-bumbardament joniku tal-wiċċ x'aktarx li jxerred atomi marbuta b'mod laxk. Dan l-effett huwa aktar evidenti fil-formazzjoni ta' interfaċċji reattivi għad-diffużjoni.
(5) Titjib tal-kopertura tal-wiċċ u titjib tal-bypass tal-kisi. Minħabba l-pressjoni għolja tal-gass tax-xogħol tal-kisi joniku, l-atomi evaporati jew sputterizzati huma soġġetti għal ħabta ma' atomi tal-gass biex itejbu t-tifrix, li jirriżulta fi proprjetajiet tajbin ta' kisi mdawwar.
–Dan l-artiklu ġie ppubblikat minnmanifattur tal-magna tal-kisi bil-vakwuGuangdong Zhenhua
Ħin tal-posta: 09 ta' Diċembru 2023