Tekniki konvenzjonali għad-depożitu ta' kisi iebes

1. Teknoloġija CVD termali

Kisi iebes huwa l-aktar kisi taċ-ċeramika tal-metall (TiN, eċċ.), li huma ffurmati mir-reazzjoni tal-metall fil-kisi u l-gassifikazzjoni reattiva. Għall-ewwel, it-teknoloġija CVD termali ntużat biex tipprovdi l-enerġija ta' attivazzjoni tar-reazzjoni ta' kombinazzjoni permezz ta' enerġija termali f'temperatura għolja ta' 1000 ℃. Din it-temperatura hija adattata biss għad-depożitu ta' TiN u kisi iebes ieħor fuq għodod tal-karbur tas-siment. S'issa, għadha teknoloġija importanti għad-depożitu ta' kisi kompost TiN-Al2O3 fuq irjus tal-għodod tal-karbur tas-siment.

1. Kisi tal-jone katodu vojt u kisi tal-jone ark tal-wajer sħun

Fis-snin tmenin, il-kisi tal-joni bil-katodu vojt u l-kisi tal-joni bl-ark tal-wajer sħun intużaw biex jiddepożitaw għodod tat-tqattigħ miksija. Dawn iż-żewġ teknoloġiji ta' kisi tal-joni huma teknoloġiji ta' kisi tal-joni b'disċarġ tal-ark, b'rata ta' jonizzazzjoni tal-metall sa 20% ~ 40%.

1. Kisi tal-jone tal-ark katodiku

It-tfaċċar tal-kisi tal-jone tal-ark katodiku wassal għall-iżvilupp tat-teknoloġija tad-depożitu ta' kisi iebes fuq forom. Ir-rata ta' jonizzazzjoni tal-kisi tal-jone tal-ark katodiku hija ta' 60% ~ 90%, li tippermetti li numru kbir ta' joni tal-metall u joni tal-gass ta' reazzjoni jilħqu l-wiċċ tal-biċċa tax-xogħol u xorta jżommu attività għolja, li tirriżulta fid-depożizzjoni ta' reazzjoni u l-formazzjoni ta' kisi iebes bħat-TiN. Fil-preżent, it-teknoloġija tal-kisi tal-jone tal-ark katodiku tintuża prinċipalment biex tiddepożita kisi iebes fuq forom.

Is-sors tal-ark katodiku huwa sors ta' evaporazzjoni fi stat solidu mingħajr ġabra mdewba fissa, u l-pożizzjoni tas-sors tal-ark tista' titqiegħed arbitrarjament, u b'hekk tittejjeb ir-rata ta' utilizzazzjoni tal-ispazju tal-kamra tal-kisi u tiżdied il-kapaċità tat-tagħbija tal-forn. Il-forom tas-sorsi tal-ark katodiku jinkludu sorsi żgħar ta' ark katodiku ċirkolari, sorsi ta' ark kolonnari, u sorsi ta' ark kbir ċatt rettangolari. Komponenti differenti ta' sorsi ta' ark żgħar, sorsi ta' ark kolonnari, u sorsi ta' ark kbir jistgħu jiġu rranġati separatament biex jiddepożitaw films b'ħafna saffi u films nano b'ħafna saffi. Sadanittant, minħabba r-rata għolja ta' jonizzazzjoni tal-metall tal-kisi tal-jone tal-ark katodiku, il-joni tal-metall jistgħu jassorbu aktar gassijiet ta' reazzjoni, li jirriżultaw f'firxa wiesgħa ta' proċess u tħaddim sempliċi biex jinkisbu kisi iebes eċċellenti. Madankollu, hemm qtar oħxon fil-mikrostruttura tas-saff tal-kisi miksub permezz tal-kisi tal-jone tal-ark katodiku. Fi snin reċenti, ħarġu ħafna teknoloġiji ġodda biex jirfinaw l-istruttura tas-saff tal-film, li tejbet il-kwalità tal-film tal-kisi tal-jone tal-ark.