१. बाष्पीभवन दर बाष्पीभवन झालेल्या आवरणाच्या गुणधर्मांवर परिणाम करेल.
बाष्पीभवन दराचा जमा झालेल्या फिल्मवर मोठा प्रभाव पडतो. कमी जमा होण्याच्या दराने तयार होणारी कोटिंग रचना सैल असल्याने आणि मोठ्या कण जमा होण्यास सोपी असल्याने, कोटिंग रचनेची कॉम्पॅक्टनेस सुनिश्चित करण्यासाठी उच्च बाष्पीभवन दर निवडणे खूप सुरक्षित आहे. जेव्हा व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये अवशिष्ट वायूचा दाब स्थिर असतो, तेव्हा सब्सट्रेटचा बॉम्बार्डमेंट दर स्थिर असतो. म्हणून, उच्च जमा होण्याचा दर निवडल्यानंतर जमा झालेल्या फिल्ममध्ये असलेला अवशिष्ट वायू कमी होईल, ज्यामुळे अवशिष्ट वायू रेणू आणि बाष्पीभवन झालेल्या फिल्म कणांमधील रासायनिक अभिक्रिया कमी होईल. म्हणून, जमा झालेल्या फिल्मची शुद्धता सुधारता येते. हे लक्षात घेतले पाहिजे की जर जमा होण्याचा दर खूप वेगवान असेल तर तो फिल्मचा अंतर्गत ताण वाढवू शकतो, फिल्ममध्ये दोष वाढवू शकतो आणि फिल्म फुटण्यास देखील कारणीभूत ठरू शकतो. विशेषतः, प्रतिक्रियाशील बाष्पीभवन प्लेटिंगच्या प्रक्रियेत, प्रतिक्रियात्मक वायू बाष्पीभवन फिल्म मटेरियलच्या कणांसह पूर्णपणे प्रतिक्रिया देण्यासाठी, तुम्ही कमी जमा होण्याचा दर निवडू शकता. अर्थात, वेगवेगळे पदार्थ वेगवेगळे बाष्पीभवन दर निवडतात. व्यावहारिक उदाहरण म्हणून - परावर्तक फिल्मचे निक्षेपण, जर फिल्मची जाडी 600×10-8cm असेल आणि बाष्पीभवन वेळ 3s असेल, तर परावर्तकता 93% असते. तथापि, जर त्याच जाडीच्या स्थितीत बाष्पीभवन दर कमी केला तर फिल्म निक्षेपण पूर्ण करण्यासाठी 10 मिनिटे लागतात. यावेळी, फिल्मची जाडी समान आहे. तथापि, परावर्तकता 68% पर्यंत घसरली आहे.
२. सबट्रेट तापमानाचा बाष्पीभवन आवरणावर परिणाम होईल
बाष्पीभवन कोटिंगवर सब्सट्रेट तापमानाचा मोठा प्रभाव असतो. उच्च सब्सट्रेट तापमानावर सब्सट्रेट पृष्ठभागावर शोषलेले अवशिष्ट वायू रेणू काढून टाकणे सोपे असते. विशेषतः पाण्याच्या वाफेच्या रेणूंचे उच्चाटन अधिक महत्वाचे आहे. शिवाय, उच्च तापमानात, भौतिक शोषणापासून रासायनिक शोषणात रूपांतर करणे सोपे नसते, त्यामुळे कणांमधील बंधन शक्ती वाढते. शिवाय, ते बाष्प रेणूंच्या पुनर्स्फटिकीकरण तापमान आणि सब्सट्रेट तापमानातील फरक देखील कमी करू शकते, ज्यामुळे फिल्म-आधारित इंटरफेसवरील अंतर्गत ताण कमी होतो किंवा दूर होतो. याव्यतिरिक्त, सब्सट्रेट तापमान फिल्मच्या स्फटिकीय स्थितीशी संबंधित असल्याने, कमी सब्सट्रेट तापमान किंवा गरम नसलेल्या स्थितीत आकारहीन किंवा सूक्ष्मक्रिस्टलाइन कोटिंग तयार करणे अनेकदा सोपे असते. उलटपक्षी, जेव्हा तापमान जास्त असते तेव्हा स्फटिकीय कोटिंग तयार करणे सोपे असते. सब्सट्रेट तापमान वाढवणे देखील कोटिंगच्या यांत्रिक गुणधर्मांमध्ये सुधारणा करण्यास अनुकूल आहे. अर्थात, कोटिंगचे बाष्पीभवन रोखण्यासाठी सब्सट्रेट तापमान खूप जास्त नसावे.
३. व्हॅक्यूम चेंबरमधील अवशिष्ट वायू दाब फिल्म गुणधर्मांवर परिणाम करेल.
व्हॅक्यूम चेंबरमधील अवशिष्ट वायूचा दाब पडद्याच्या कार्यक्षमतेवर मोठा प्रभाव पाडतो. खूप जास्त दाब असलेले अवशिष्ट वायूचे रेणू केवळ बाष्पीभवन होणाऱ्या कणांशी टक्कर देणे सोपे करत नाहीत, ज्यामुळे सब्सट्रेटवरील लोकांची गतिज ऊर्जा कमी होते आणि फिल्मच्या चिकटपणावर परिणाम होतो. याव्यतिरिक्त, खूप जास्त अवशिष्ट वायूचा दाब फिल्मच्या शुद्धतेवर गंभीरपणे परिणाम करेल आणि कोटिंगची कार्यक्षमता कमी करेल.
४. बाष्पीभवन तापमानाचा बाष्पीभवन आवरणावर होणारा परिणाम
बाष्पीभवन तापमानाचा पडद्याच्या कामगिरीवर होणारा परिणाम तापमानासह बाष्पीभवन दरातील बदलाद्वारे दिसून येतो. जेव्हा बाष्पीभवन तापमान जास्त असते तेव्हा बाष्पीभवनाची उष्णता कमी होते. जर पडद्याचे पदार्थ बाष्पीभवन तापमानापेक्षा जास्त बाष्पीभवन केले गेले तर तापमानात थोडासा बदल देखील पडद्याच्या पदार्थाच्या बाष्पीभवन दरात तीव्र बदल घडवून आणू शकतो. म्हणूनच, बाष्पीभवन स्रोत गरम केल्यावर मोठ्या तापमानाच्या ग्रेडियंट टाळण्यासाठी फिल्मच्या संचयनादरम्यान बाष्पीभवन तापमान अचूकपणे नियंत्रित करणे खूप महत्वाचे आहे. ज्या फिल्म मटेरियलला उदात्तीकरण करणे सोपे आहे, त्यासाठी बाष्पीभवन आणि इतर उपायांसाठी हीटर म्हणून स्वतः सामग्री निवडणे देखील खूप महत्वाचे आहे.
५. सब्सट्रेट आणि कोटिंग चेंबरची साफसफाईची स्थिती कोटिंगच्या कामगिरीवर परिणाम करेल.
सब्सट्रेट आणि कोटिंग चेंबरच्या स्वच्छतेचा कोटिंगच्या कामगिरीवर होणारा परिणाम दुर्लक्षित करता येणार नाही. हे केवळ जमा झालेल्या फिल्मच्या शुद्धतेवर गंभीर परिणाम करणार नाही तर फिल्मची चिकटपणा देखील कमी करेल. म्हणून, सब्सट्रेटचे शुद्धीकरण, व्हॅक्यूम कोटिंग चेंबर आणि त्याच्या संबंधित घटकांची (जसे की सब्सट्रेट फ्रेम) स्वच्छता प्रक्रिया आणि पृष्ठभागाचे डीगॅसिंग या सर्व व्हॅक्यूम कोटिंग प्रक्रियेत अपरिहार्य प्रक्रिया आहेत.
पोस्ट वेळ: फेब्रुवारी-२८-२०२३