कठीण कोटिंग्ज जमा करण्यासाठी पारंपारिक तंत्रे

1. थर्मल सीव्हीडी तंत्रज्ञान

कठीण कोटिंग्ज हे बहुतेक धातूचे सिरेमिक कोटिंग्ज (TiN, इ.) असतात, जे कोटिंगमधील धातूच्या अभिक्रिया आणि प्रतिक्रियाशील गॅसिफिकेशनमुळे तयार होतात. सुरुवातीला, 1000 ℃ च्या उच्च तापमानावर थर्मल एनर्जीद्वारे संयोजन अभिक्रियाची सक्रियकरण ऊर्जा प्रदान करण्यासाठी थर्मल CVD तंत्रज्ञानाचा वापर केला जात असे. हे तापमान फक्त सिमेंटेड कार्बाइड टूल्सवर TiN आणि इतर कठीण कोटिंग्ज जमा करण्यासाठी योग्य आहे. आतापर्यंत, सिमेंटेड कार्बाइड टूल हेड्सवर TiN – Al2O3 कंपोझिट कोटिंग्ज जमा करण्यासाठी हे एक महत्त्वाचे तंत्रज्ञान आहे.

1. पोकळ कॅथोड आयन कोटिंग आणि गरम वायर आर्क आयन कोटिंग

१९८० च्या दशकात, कोटेड कटिंग टूल्स जमा करण्यासाठी पोकळ कॅथोड आयन कोटिंग आणि हॉट वायर आर्क आयन कोटिंगचा वापर केला जात असे. हे दोन्ही आयन कोटिंग तंत्रज्ञान आर्क डिस्चार्ज आयन कोटिंग तंत्रज्ञान आहेत, ज्याचा धातू आयनीकरण दर २०% ~ ४०% पर्यंत आहे.

1. कॅथोड आर्क आयन कोटिंग

कॅथोडिक आर्क आयन केटिंगच्या उदयामुळे साच्यांवर कठीण कोटिंग्ज जमा करण्याच्या तंत्रज्ञानाचा विकास झाला आहे. कॅथोडिक आर्क आयन कोटिंगचा आयनीकरण दर 60% ~ 90% आहे, ज्यामुळे मोठ्या संख्येने धातू आयन आणि प्रतिक्रिया वायू आयन वर्कपीसच्या पृष्ठभागावर पोहोचू शकतात आणि तरीही उच्च क्रियाकलाप राखू शकतात, परिणामी प्रतिक्रिया जमा होते आणि TiN सारखे कठीण कोटिंग्ज तयार होतात. सध्या, कॅथोडिक आर्क आयन कोटिंग तंत्रज्ञानाचा वापर प्रामुख्याने साच्यांवर कठीण कोटिंग्ज जमा करण्यासाठी केला जातो.

कॅथोड आर्क सोर्स हा स्थिर वितळलेल्या पूलशिवाय एक घन-अवस्थेतील बाष्पीभवन स्रोत आहे आणि आर्क सोर्सची स्थिती अनियंत्रितपणे ठेवता येते, ज्यामुळे कोटिंग रूमचा जागेचा वापर दर सुधारतो आणि भट्टीची लोडिंग क्षमता वाढते. कॅथोड आर्क सोर्सच्या आकारांमध्ये लहान वर्तुळाकार कॅथोड आर्क सोर्स, स्तंभीय आर्क सोर्स आणि आयताकृती सपाट मोठे आर्क सोर्स यांचा समावेश आहे. मल्टी-लेयर फिल्म्स आणि नॅनो मल्टीलेयर फिल्म्स जमा करण्यासाठी लहान आर्क सोर्स, स्तंभीय आर्क सोर्स आणि मोठ्या आर्क सोर्सचे वेगवेगळे घटक स्वतंत्रपणे व्यवस्थित केले जाऊ शकतात. दरम्यान, कॅथोडिक आर्क आयन कोटिंगच्या उच्च मेटल आयनीकरण दरामुळे, मेटल आयन अधिक प्रतिक्रिया वायू शोषू शकतात, परिणामी विस्तृत प्रक्रिया श्रेणी आणि उत्कृष्ट हार्ड कोटिंग्ज मिळविण्यासाठी सोपे ऑपरेशन होते. तथापि, कॅथोडिक आर्क आयन कोटिंगद्वारे प्राप्त झालेल्या कोटिंग लेयरच्या सूक्ष्म-संरचनेत खडबडीत थेंब आहेत. अलिकडच्या वर्षांत, फिल्म लेयरची रचना सुधारण्यासाठी अनेक नवीन तंत्रज्ञान उदयास आले आहेत, ज्यामुळे आर्क आयन कोटिंग फिल्मची गुणवत्ता सुधारली आहे.