Мембраны атомуудын хуримтлал эхлэхэд ионы бөмбөгдөлт нь мембран/субстратын интерфейс дээр дараах нөлөө үзүүлдэг.
(1) Физик хольц. Өндөр энергитэй ионы тарилга, хуримтлагдсан атомуудын цацрах, гадаргын атомуудын буцаан шахалт ба каскадын мөргөлдөөний үзэгдлийн улмаас субстратын элементүүд болон мембраны элементүүдийн мембран/суурь интерфейсийн гадаргуугийн ойролцоох хэсэг нь диффузийн бус холилдох бөгөөд энэ холилтын нөлөө нь мембран/ мембран үүсэхэд хүргэдэг. "Псевдо-диффузийн давхарга", өөрөөр хэлбэл мембран/суурь интерфейс хоорондын шилжилтийн давхарга, хэдэн микрон хүртэл зузаантай. Хэдэн микрометрийн зузаантай, шинэ үе шатууд ч гарч болно. Энэ нь мембран / үндсэн интерфейсийн наалдамхай чанарыг сайжруулахад маш таатай байдаг.
(2) Сайжруулсан тархалт. Гадаргуугийн ойролцоох бүсэд согогийн өндөр концентраци, өндөр температур нь тархалтын хурдыг нэмэгдүүлдэг. Гадаргуу нь цэгийн гажиг тул жижиг ионууд нь гадаргууг хазайлгах хандлагатай байдаг ба ионы бөмбөгдөлт нь гадаргуугийн хазайлтыг улам нэмэгдүүлж, хуримтлагдсан болон субстратын атомуудын харилцан тархалтыг нэмэгдүүлэх нөлөөтэй.
(3) Цөм үүсгэх горимыг сайжруулсан. Субстратын гадаргуу дээр өтгөрүүлсэн атомын шинж чанар нь түүний гадаргуугийн харилцан үйлчлэл, гадаргуу дээрх шилжилтийн шинж чанараар тодорхойлогддог. Хэрэв өтгөрүүлсэн атом ба субстратын гадаргуугийн хооронд хүчтэй харилцан үйлчлэл байхгүй бол атом нь өндөр энергитэй байрлалд цөм үүсэх эсвэл бусад тархах атомуудтай мөргөлдөх хүртэл гадаргуу дээр тархах болно. Цөм үүсэх ийм хэлбэрийг реактив бус бөөм гэж нэрлэдэг. Оригинал нь реактив бус бөөмжилтийн горимд хамаарах байсан ч субстратын гадаргууг ионы бөмбөгдөлтөөр илүү их согог үүсгэж, бөөмийн нягтралыг нэмэгдүүлж, диффузын реактив бөөмийн горимыг бий болгоход илүү таатай байдаг.
(4) Сул холбогдсон атомуудыг давуу эрхтэйгээр зайлуулах. Гадаргуугийн атомуудын шүрших нь орон нутгийн холболтын төлөвөөр тодорхойлогддог бөгөөд гадаргуугийн ионы бөмбөгдөлт нь сул холбоотой атомуудыг цацах магадлал өндөр байдаг. Энэ нөлөө нь диффузын реактив интерфейс үүсэхэд илүү тод илэрдэг.
(5) Гадаргуугийн хамрах хүрээг сайжруулж, өнгөлгөөний тойргийг сайжруулах. Ион бүрэх үед ажиллах хийн өндөр даралтаас болж ууршсан эсвэл цацагдсан атомууд нь хийн атомуудтай мөргөлдөж, тархалтыг сайжруулж, сайн бүрэх шинж чанарыг бий болгодог.
-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2023 оны 12-р сарын 09-ний өдөр