വാക്വം ബാഷ്പീകരണ പ്ലേറ്റിംഗിന്റെ പ്രകടനത്തെ ബാധിക്കുന്ന ഘടകങ്ങൾ

1. ബാഷ്പീകരണ നിരക്ക് ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട കോട്ടിംഗിന്റെ ഗുണങ്ങളെ ബാധിക്കും.

ബാഷ്പീകരണ നിരക്ക് നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമിൽ വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. കുറഞ്ഞ നിക്ഷേപ നിരക്കിൽ രൂപം കൊള്ളുന്ന കോട്ടിംഗ് ഘടന അയഞ്ഞതും വലിയ കണിക നിക്ഷേപം സൃഷ്ടിക്കാൻ എളുപ്പമുള്ളതുമായതിനാൽ, കോട്ടിംഗ് ഘടനയുടെ ഒതുക്കം ഉറപ്പാക്കാൻ ഉയർന്ന ബാഷ്പീകരണ നിരക്ക് തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നത് വളരെ സുരക്ഷിതമാണ്. വാക്വം ചേമ്പറിലെ അവശിഷ്ട വാതകത്തിന്റെ മർദ്ദം സ്ഥിരമായിരിക്കുമ്പോൾ, അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ബോംബാർഡ്മെന്റ് നിരക്ക് ഒരു സ്ഥിരമായ മൂല്യമാണ്. അതിനാൽ, ഉയർന്ന നിക്ഷേപ നിരക്ക് തിരഞ്ഞെടുത്തതിനുശേഷം നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമിൽ അടങ്ങിയിരിക്കുന്ന അവശിഷ്ട വാതകം കുറയും, അങ്ങനെ അവശിഷ്ട വാതക തന്മാത്രകളും ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട ഫിലിം കണികകളും തമ്മിലുള്ള രാസപ്രവർത്തനം കുറയ്ക്കും. അതിനാൽ, നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമിന്റെ പരിശുദ്ധി മെച്ചപ്പെടുത്താൻ കഴിയും. നിക്ഷേപ നിരക്ക് വളരെ വേഗതയുള്ളതാണെങ്കിൽ, അത് ഫിലിമിന്റെ ആന്തരിക സമ്മർദ്ദം വർദ്ധിപ്പിക്കും, അത് ഫിലിമിലെ വൈകല്യങ്ങൾ വർദ്ധിപ്പിക്കും, കൂടാതെ ഫിലിമിന്റെ വിള്ളലിന് പോലും കാരണമാകുമെന്ന് ശ്രദ്ധിക്കേണ്ടതാണ്. പ്രത്യേകിച്ചും, റിയാക്ടീവ് ബാഷ്പീകരണ പ്ലേറ്റിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, ബാഷ്പീകരണ ഫിലിം മെറ്റീരിയലിന്റെ കണികകളുമായി പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകം പൂർണ്ണമായി പ്രതികരിക്കുന്നതിന്, നിങ്ങൾക്ക് കുറഞ്ഞ നിക്ഷേപ നിരക്ക് തിരഞ്ഞെടുക്കാം. തീർച്ചയായും, വ്യത്യസ്ത വസ്തുക്കൾ വ്യത്യസ്ത ബാഷ്പീകരണ നിരക്കുകൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നു. ഒരു പ്രായോഗിക ഉദാഹരണമായി - പ്രതിഫലന ഫിലിമിന്റെ നിക്ഷേപം, ഫിലിം കനം 600×10-8cm ഉം ബാഷ്പീകരണ സമയം 3 സെക്കൻഡും ആണെങ്കിൽ, പ്രതിഫലനക്ഷമത 93% ആണ്. എന്നിരുന്നാലും, അതേ കട്ടിയുള്ള അവസ്ഥയിൽ ബാഷ്പീകരണ നിരക്ക് മന്ദഗതിയിലാണെങ്കിൽ, ഫിലിം നിക്ഷേപം പൂർത്തിയാക്കാൻ 10 മിനിറ്റ് എടുക്കും. ഈ സമയത്ത്, ഫിലിം കനം ഒന്നുതന്നെയാണ്. എന്നിരുന്നാലും, പ്രതിഫലനക്ഷമത 68% ആയി കുറഞ്ഞു.

2. ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗിനെ സബ്ട്രേറ്റ് താപനില ബാധിക്കും

ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗിൽ അടിവസ്ത്ര താപനില വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. ഉയർന്ന അടിവസ്ത്ര താപനിലയിൽ അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുന്ന അവശിഷ്ട വാതക തന്മാത്രകൾ എളുപ്പത്തിൽ നീക്കംചെയ്യാൻ കഴിയും. പ്രത്യേകിച്ച് ജലബാഷ്പ തന്മാത്രകളുടെ ഉന്മൂലനം കൂടുതൽ പ്രധാനമാണ്. മാത്രമല്ല, ഉയർന്ന താപനിലയിൽ, ഭൗതിക ആഗിരണം മുതൽ രാസ ആഗിരണം വരെയുള്ള പരിവർത്തനത്തെ പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുക മാത്രമല്ല, അതുവഴി കണികകൾക്കിടയിലുള്ള ബന്ധന ശക്തി വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. മാത്രമല്ല, നീരാവി തന്മാത്രകളുടെ പുനഃക്രിസ്റ്റലൈസേഷൻ താപനിലയും അടിവസ്ത്ര താപനിലയും തമ്മിലുള്ള വ്യത്യാസം കുറയ്ക്കാനും ഇതിന് കഴിയും, അങ്ങനെ ഫിലിം അടിസ്ഥാനമാക്കിയുള്ള ഇന്റർഫേസിലെ ആന്തരിക സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുകയോ ഇല്ലാതാക്കുകയോ ചെയ്യാം. കൂടാതെ, അടിവസ്ത്ര താപനില ഫിലിമിന്റെ ക്രിസ്റ്റലിൻ അവസ്ഥയുമായി ബന്ധപ്പെട്ടിരിക്കുന്നതിനാൽ, താഴ്ന്ന അടിവസ്ത്ര താപനിലയുടെയോ ചൂടാക്കലിന്റെയോ അവസ്ഥയിൽ അമോർഫസ് അല്ലെങ്കിൽ മൈക്രോക്രിസ്റ്റലിൻ കോട്ടിംഗുകൾ രൂപപ്പെടുത്തുന്നത് പലപ്പോഴും എളുപ്പമാണ്. നേരെമറിച്ച്, താപനില കൂടുതലായിരിക്കുമ്പോൾ, ക്രിസ്റ്റലിൻ കോട്ടിംഗ് രൂപപ്പെടുത്തുന്നത് എളുപ്പമാണ്. അടിവസ്ത്ര താപനില വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നത് കോട്ടിംഗിന്റെ മെക്കാനിക്കൽ ഗുണങ്ങൾ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും സഹായകമാണ്. തീർച്ചയായും, കോട്ടിംഗിന്റെ ബാഷ്പീകരണം തടയാൻ അടിവസ്ത്ര താപനില വളരെ ഉയർന്നതായിരിക്കരുത്.

3. വാക്വം ചേമ്പറിലെ ശേഷിക്കുന്ന വാതക മർദ്ദം ഫിലിം ഗുണങ്ങളെ ബാധിക്കും.

വാക്വം ചേമ്പറിലെ അവശിഷ്ട വാതകത്തിന്റെ മർദ്ദം മെംബ്രണിന്റെ പ്രകടനത്തിൽ വലിയ സ്വാധീനം ചെലുത്തുന്നു. വളരെ ഉയർന്ന മർദ്ദമുള്ള അവശിഷ്ട വാതക തന്മാത്രകൾ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുന്ന കണങ്ങളുമായി എളുപ്പത്തിൽ കൂട്ടിയിടിക്കുക മാത്രമല്ല, അടിവസ്ത്രത്തിലുള്ള ആളുകളുടെ ഗതികോർജ്ജം കുറയ്ക്കുകയും ഫിലിമിന്റെ അഡീഷനെ ബാധിക്കുകയും ചെയ്യും. കൂടാതെ, വളരെ ഉയർന്ന അവശിഷ്ട വാതക മർദ്ദം ഫിലിമിന്റെ പരിശുദ്ധിയെ ഗുരുതരമായി ബാധിക്കുകയും കോട്ടിംഗിന്റെ പ്രകടനം കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യും.

4. ബാഷ്പീകരണ കോട്ടിംഗിൽ ബാഷ്പീകരണ താപനില പ്രഭാവം

താപനിലയനുസരിച്ച് ബാഷ്പീകരണ നിരക്കിലെ മാറ്റം വഴി മെംബ്രൻ പ്രകടനത്തിൽ ബാഷ്പീകരണ താപനിലയുടെ സ്വാധീനം കാണിക്കുന്നു. ബാഷ്പീകരണ താപനില കൂടുതലായിരിക്കുമ്പോൾ, ബാഷ്പീകരണ താപം കുറയും. മെംബ്രൻ മെറ്റീരിയൽ ബാഷ്പീകരണ താപനിലയ്ക്ക് മുകളിൽ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുകയാണെങ്കിൽ, താപനിലയിലെ ചെറിയ മാറ്റം പോലും മെംബ്രൻ മെറ്റീരിയലിന്റെ ബാഷ്പീകരണ നിരക്കിൽ മൂർച്ചയുള്ള മാറ്റത്തിന് കാരണമാകും. അതിനാൽ, ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് ചൂടാക്കുമ്പോൾ വലിയ താപനില ഗ്രേഡിയന്റ് ഒഴിവാക്കാൻ ഫിലിമിന്റെ നിക്ഷേപ സമയത്ത് ബാഷ്പീകരണ താപനില കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കേണ്ടത് വളരെ പ്രധാനമാണ്. എളുപ്പത്തിൽ സപ്ലൈമേറ്റ് ചെയ്യാൻ കഴിയുന്ന ഫിലിം മെറ്റീരിയലിന്, ബാഷ്പീകരണത്തിനും മറ്റ് അളവുകൾക്കുമായി ഹീറ്ററായി മെറ്റീരിയൽ തന്നെ തിരഞ്ഞെടുക്കേണ്ടതും വളരെ പ്രധാനമാണ്.

5. അടിവസ്ത്രത്തിന്റെയും കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിന്റെയും ക്ലീനിംഗ് അവസ്ഥ കോട്ടിംഗ് പ്രകടനത്തെ ബാധിക്കും.

അടിവസ്ത്രത്തിന്റെയും കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിന്റെയും വൃത്തി കോട്ടിംഗിന്റെ പ്രകടനത്തിൽ ചെലുത്തുന്ന സ്വാധീനം അവഗണിക്കാൻ കഴിയില്ല. ഇത് നിക്ഷേപിച്ച ഫിലിമിന്റെ പരിശുദ്ധിയെ സാരമായി ബാധിക്കുക മാത്രമല്ല, ഫിലിമിന്റെ അഡീഷൻ കുറയ്ക്കുകയും ചെയ്യും. അതിനാൽ, അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ശുദ്ധീകരണം, വാക്വം കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിന്റെയും അതിന്റെ അനുബന്ധ ഘടകങ്ങളുടെയും (സബ്‌സ്ട്രേറ്റ് ഫ്രെയിം പോലുള്ളവ) ക്ലീനിംഗ് ട്രീറ്റ്‌മെന്റ്, ഉപരിതല ഡീഗ്യാസിംഗ് എന്നിവയെല്ലാം വാക്വം കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത പ്രക്രിയകളാണ്.