Te Whakapae Kohu Matū (CVD). E ai ki te ingoa, he tikanga e whakamahi ana i nga tauhohenga haurehu o mua ki te whakaputa kiriata totoka ma te tauhohenga matū ngota me te tauhohenga ngota. Kaore i rite ki te PVD, ko te tukanga CVD i te nuinga o te waa e mahia ana i roto i te taiao teitei ake (maamaa raro), me te kaha teitei e whakamahia ana hei whakanui ake i te tere o te whakahekenga o te kiriata. Ka taea te whakarōpūtia te waipara matū matū ki roto i te CVD whānui (e mōhiotia ana ko te CVD waiariki) me te waipara matū matū kua whakarei ake (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. PECVD) i runga i te mea kei te uru te plasma ki roto i te tukanga waipara. Ko tenei waahanga e arotahi ana ki te hangarau PECVD tae atu ki te tukanga PECVD me nga taputapu PECVD e whakamahia ana me te kaupapa mahi.
Ko te whakahekenga kohu matū kua whakanikonikohia e te Plasma he tikanga whakaheke matū kohu matū-kiriata angiangi e whakamahi ana i te plasma whakaheke mura ki te whai awe ki runga i te tukanga waiputanga i te wa e mahi ana te tukanga whakaheke matū matū pehanga iti. I roto i tenei tikanga, ka whakawhirinaki te hangarau CVD tikanga ki te teitei o te wera o te tïpako kia mohio ai te tauhohenga matū i waenga i nga matū wahanga hau me te waipara o nga kiriata kikokore, na reira ka kiia ko te hangarau CVD wera.
I roto i te taputapu PECVD, ko te pehanga hau mahi e pa ana ki te 5 ~ 500 Pa, a ko te kiato o nga irahiko me nga katote ka tae ki te 109 ~ 1012 / cm3, ka taea e te kaha toharite o nga irahiko te tae ki te 1 ~ 10 eV. Ko te mea e wehewehe ana i te tikanga PECVD mai i etahi atu tikanga CVD ko te plasma kei roto i te maha o nga irahiko hiko teitei, ka taea te whakarato i te kaha whakaoho e hiahiatia ana mo te tukanga whakaheke kohu matū. Ko te tukinga o te irahiko me te hau-wahanga ngota ngota ka taea te whakatairanga i te pirau, te chemosynthesis, te whakaongaonga me te katote o nga ngota ngota hau, te whakaputa i nga roopu matū tino tauhohenga, na reira ka tino whakaitihia te awhe pāmahana o te whakatakotoranga kiriata angiangi CVD, ka taea ai te mohio ki te tukanga CVD, i te tuatahi e hiahiatia ana kia mahia i nga waahi teitei, i nga wera iti. Ko te painga o te whakahekenga kiriata angiangi o te pāmahana iti ka taea e ia te karo i te whakamaaramatanga koretake me te tauhohenga matū i waenga i te kiriata me te tïpako, nga huringa hanganga me te paheketanga o te kiriata, te rauemi tïpako ranei, me nga taumahatanga waiariki nui i roto i te kiriata me te tïpako.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Apr-18-2024