Nga tikanga tikanga mo te whakatakoto i nga paninga pakeke

1. Hangarau CVD wera

Ko nga paninga pakeke ko te nuinga o nga paninga uku whakarewa (TiN, me etahi atu), he mea hanga na te tauhohenga o te whakarewa i roto i te paninga me te whakaahuru reactive. I te tuatahi, i whakamahia te hangarau CVD waiariki ki te whakarato i te kaha whakahohenga o te tauhohenga Whakakotahitanga ma te hiko waiariki i te pāmahana teitei o te 1000 ℃. He pai noa tenei pāmahana mo te whakatakoto i te TiN me etahi atu paninga maro ki runga i nga taputapu carbide cimented. I tenei wa, he hangarau nui tonu mo te whakatakoto i nga paninga hiato TiN - Al2O3 ki runga i nga upoko taputapu carbide cimented.

1. Te paninga katote cathode hollow me te paninga katote arc waea wera

I te tekau tau atu i 1980, ka whakamahia te paninga katote katote hollow me te paninga katote arc waea wera hei putunga taputapu tapahi pani. Ko enei hangarau whakakikorua katote e rua ko nga hangarau whakakikorua katote arc, me te reeti katote whakarewa ki te 20% ~ 40%.

1. Te paninga katote arc Cathode

Ko te putanga o te cathodic arc katote cating kua arahina ki te whanaketanga o te hangarau o te whakatakoto i nga paninga pakeke ki runga i nga pokepokea ai. Ko te 60% ~ 90% te tere o te katote o te katote arc arc katote, ka taea te nui o nga katote whakarewa me nga katote hau tauhohenga kia eke ki te mata o te mea mahi me te pupuri tonu i nga mahi nui, ka puta mai te tauhohenga me te hanga o nga paninga pakeke penei i te TiN. I tenei wa, ka whakamahia te hangarau whakakikorua katote arc cathodic ki te whakatakoto i nga paninga pakeke ki runga i nga pokepokea ai.

Ko te puna pewa cathode he puna whakaetonga totika me te kore he puna rewa, a ka taea te whakanoho i te turanga o te pewa, te whakapai ake i te tere o te whakamahi waahi o te ruuma paninga me te whakanui ake i te kaha o te uta o te oumu. Ko nga ahua o nga puna pewa cathode ko nga puna pewa cathode porohita iti, nga puna pewa poupou, me nga puna pewa papatahi tapawha. Ka taea te whakarite wehe nga waahanga rereke o nga puna arc iti, puna arc poupou, me nga puna arc nui hei whakatakoto i nga kiriata paparanga-maha me nga kiriata nano multilayer. I tenei wa, na te nui o te whakarewatanga o te katote o te katote arc cathodic, ka taea e nga katote whakarewa te whakauru atu i nga hau hohenga, ka puta mai he whanuitanga o nga mahi me te mahi ngawari ki te whiwhi i nga paninga pakeke pai. Heoi ano, he topata iti kei roto i te hanganga moroiti o te paparanga paninga i whiwhihia e te paninga katote arc cathodic. I nga tau kua pahure ake nei, he maha nga hangarau hou kua puta ki te whakamahine i te hanganga o te paparanga kiriata, kua pai ake te kounga o te kiriata whakakikorua arc ion.