Rehefa manomboka ny fametrahana atôma membrane, dia misy fiantraikany manaraka eo amin'ny interface membrane/substrat ny daroka baomba ion.
(1) Fifangaroana ara-batana. Noho ny tsindrona Ion angovo avo, sputtering ny atoma napetraka sy ny recoil tsindrona ny atoma ambonin'ny sy cascade fifandonan'ny trangan-javatra, dia hahatonga ny faritra akaiky ambonin'ny ambonin'ny manify / fototra interface tsara ny substrate singa sy ny manify singa ny tsy diffusion fampifangaroana, izany fifangaroana vokany dia mety ho ny fananganana ny manify / fototra interface tsara "pseudo-dif, ny interface tsara sosona" pseudo-dif. microns matevina. Micrometer vitsivitsy ny hateviny, izay mety hipoitra mihitsy aza ny dingana vaovao. Tena tsara izany mba hanatsarana ny tanjaky ny adhesion amin'ny interface tsara membrane / base.
(2) Fanaparitahana nohatsaraina. Ny fifantohana avo lenta amin'ny faritra akaiky sy ny mari-pana ambony dia mampitombo ny tahan'ny diffusion. Koa satria ny surface dia kilema teboka, ny ion kely dia manana fironana hiodina ny ambonin'ny, ary ny baomba ion dia misy fiantraikany amin'ny fanatsarana bebe kokoa ny surface deflection sy ny fanatsarana ny fifampizarana samy ny napetraka sy ny substrate atoma.
(3) Nihatsara ny fomba nucleation. Ny toetran'ny atôma mivondrona eo amin'ny ambonin'ny substrate dia voafaritra amin'ny fifandraisany amin'ny ety ambonin'ny tany sy ny toetran'ny fifindra-monina eny ambonin'ny tany. Raha tsy misy fifandraisana matanjaka eo amin'ny atôma mivohitra sy ny eny ambonin'ny substrate, dia hiparitaka eny ambonin'ny tany ny atoma mandra-pipoitrany amin'ny toerana misy angovo mahery vaika na mifandona amin'ny atoma miparitaka hafa. Io fomba nucleation io dia antsoina hoe non-reactive nucleation. Na dia ny tany am-boalohany dia an'ny toe-javatra tsy reactive nucleation fomba, amin'ny alalan'ny ion baomba ny substrate ambonin'ny dia mety hiteraka kilema bebe kokoa, mampitombo ny nucleation hakitroky, izay conducive kokoa ny fananganana ny diffusion - reactive nucleation fomba.
(4) Ny fanesorana ny atôma mifatotra malalaka. Ny fikorianan'ny atôma ambonin'ny tany dia voafaritry ny toetry ny fifamatorana eo an-toerana, ary ny fanapoahana baomba ion amin'ny eny ambonin'ny tany dia azo inoana fa hamoaka atôma mifatotra. Ity vokatra ity dia miharihary kokoa amin'ny fananganana fifandraisana amin'ny diffusion-reactive.
(5) Fanatsarana ny fandrakofana ambonin'ny tany sy ny fanatsarana ny fametahana takelaka. Noho ny fanerena entona miasa avo amin'ny fametahana ion, ny atôma etona na sputtered dia iharan'ny fifandonana amin'ny atôma entona mba hanatsarana ny fiparitahana, ka mahatonga ny fananana fonosina tsara.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Dec-09-2023