Kad sākas membrānas atomu nogulsnēšanās, jonu bombardēšanai ir šāda ietekme uz membrānas/substrāta saskarni.
(1) Fizikāla sajaukšanās. Augstas enerģijas jonu injekcijas, nogulsnēto atomu izsmidzināšanas, virsmas atomu atsitiena injekcijas un kaskādes sadursmes fenomena dēļ substrāta elementu un membrānas elementu membrānas/bāzes saskarnes virsmas tuvumā notiek nedifūzijas sajaukšanās. Šis sajaukšanās efekts veicinās membrānas/bāzes saskarnes "pseidodifūzijas slāņa" veidošanos, t. i., pārejas slāni starp membrānas/bāzes saskarni, kura biezums sasniedz dažus mikronus. Dažus mikrometrus biezumā var parādīties pat jaunas fāzes. Tas ir ļoti labvēlīgi, lai uzlabotu membrānas/bāzes saskarnes adhēzijas stiprību.
(2) Pastiprināta difūzija. Augsta defektu koncentrācija virsmas tuvumā esošajā apgabalā un augstā temperatūra palielina difūzijas ātrumu. Tā kā virsma ir punktveida defekts, maziem joniem ir tendence novirzīt virsmu, un jonu bombardēšana vēl vairāk palielina virsmas novirzi un uzlabo nogulsnēto un substrāta atomu savstarpējo difūziju.
(3) Uzlabots nukleācijas režīms. Uz substrāta virsmas kondensētā atoma īpašības nosaka tā virsmas mijiedarbība un migrācijas īpašības uz virsmas. Ja starp kondensēto atomu un substrāta virsmu nav spēcīgas mijiedarbības, atoms difundēs uz virsmas, līdz tas nukleēs augstas enerģijas pozīcijā vai sadursies ar citiem difundējošiem atomiem. Šo nukleācijas režīmu sauc par nereaktīvu nukleāciju. Pat ja sākotnējais gadījums pieder pie nereaktīvā nukleācijas režīma, jonu bombardēšana uz substrāta virsmas var radīt vairāk defektu, palielinot nukleācijas blīvumu, kas ir labvēlīgāks difūzijas-reaktīvā nukleācijas režīma veidošanai.
(4) Vēlama vāji saistītu atomu aizvākšana. Virsmas atomu izsmidzināšanu nosaka lokālais saišu stāvoklis, un virsmas jonu bombardēšana, visticamāk, izsmidzināšanas rezultātā izsmidzināšanas rezultātā izraisīs vāji saistītus atomus. Šis efekts ir izteiktāks difūzijas reaģējošu saskarņu veidošanā.
(5) Virsmas pārklājuma uzlabošana un pārklāšanas apvedceļa uzlabošana. Jonu pārklāšanas augstā darba gāzes spiediena dēļ iztvaicētie vai izsmidzinātie atomi tiek pakļauti sadursmēm ar gāzes atomiem, lai uzlabotu izkliedi, kā rezultātā tiek iegūtas labas pārklājuma aptverošās īpašības.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2023. gada 9. decembris