1. Garavimo greitis turės įtakos išgarintos dangos savybėms
Garavimo greitis daro didelę įtaką nusodintai plėvelei. Kadangi mažo nusodinimo greičio suformuota dangos struktūra yra laisva ir lengvai išskiria dideles daleles, labai saugu pasirinkti didesnį garavimo greitį, kad būtų užtikrintas dangos struktūros kompaktiškumas. Kai vakuuminėje kameroje likusių dujų slėgis yra pastovus, substrato bombardavimo greitis yra pastovi vertė. Todėl pasirinkus didesnį nusodinimo greitį, nusodintoje plėvelėje esančių likusių dujų kiekis sumažės, taip sumažinant cheminę reakciją tarp likusių dujų molekulių ir išgaravusių plėvelės dalelių. Todėl galima pagerinti nusodintos plėvelės grynumą. Reikėtų pažymėti, kad per didelis nusodinimo greitis gali padidinti plėvelės vidinį įtempį, padidinti plėvelės defektus ir netgi sukelti plėvelės plyšimą. Visų pirma, reaktyvaus garinimo procese, siekiant, kad reakcijos dujos visiškai reaguotų su garinimo plėvelės medžiagos dalelėmis, galima pasirinkti mažesnį nusodinimo greitį. Žinoma, skirtingos medžiagos pasirenka skirtingus garavimo greičius. Praktinis pavyzdys – atspindinčios plėvelės nusodinimas. Jei plėvelės storis yra 600 × 10⁻⁸ cm, o garavimo laikas yra 3 s, atspindėjimas yra 93 %. Tačiau jei garavimo greitis sulėtėja esant tokiam pačiam storiui, plėvelės nusodinimas užtrunka 10 minučių. Šiuo atveju plėvelės storis išlieka toks pats. Tačiau atspindėjimas sumažėja iki 68 %.
2. Pagrindo temperatūra turės įtakos garavimo dangai
Pagrindo temperatūra daro didelę įtaką garavimo dangai. Aukštoje pagrindo temperatūroje ant pagrindo paviršiaus adsorbuotos likusios dujų molekulės lengvai pašalinamos. Ypač svarbus yra vandens garų molekulių pašalinimas. Be to, aukštesnėje temperatūroje ne tik lengviau skatinti virsmą iš fizinės į cheminę adsorbciją, taip padidinant dalelių surišimo jėgą. Be to, tai taip pat gali sumažinti skirtumą tarp garų molekulių rekristalizacijos temperatūros ir pagrindo temperatūros, taip sumažinant arba pašalinant vidinį įtempį plėvelės pagrindo sąsajoje. Be to, kadangi pagrindo temperatūra yra susijusi su kristaline plėvelės būsena, dažnai lengva suformuoti amorfines arba mikrokristalines dangas esant žemai pagrindo temperatūrai arba be kaitinimo. Priešingai, esant aukštai temperatūrai, lengva suformuoti kristalinę dangą. Pagrindo temperatūros padidinimas taip pat padeda pagerinti dangos mechanines savybes. Žinoma, pagrindo temperatūra neturėtų būti per aukšta, kad danga neišgaruotų.
3. Likutinis dujų slėgis vakuuminėje kameroje turės įtakos plėvelės savybėms
Likutinių dujų slėgis vakuuminėje kameroje daro didelę įtaką membranos veikimui. Per didelis slėgis ne tik lengvai susiduria su garuojančiomis dalelėmis, bet ir sumažina ant pagrindo esančių žmonių kinetinę energiją bei paveikia plėvelės sukibimą. Be to, per didelis likutinių dujų slėgis rimtai paveiks plėvelės grynumą ir dangos savybes.
4. Garavimo temperatūros poveikis garavimo dangai
Garavimo temperatūros poveikis membranos veikimui parodomas garavimo greičio pokyčiu priklausomai nuo temperatūros. Kai garavimo temperatūra yra aukšta, garavimo šiluma mažėja. Jei membranos medžiaga išgarinama aukštesnėje nei garavimo temperatūroje, net ir nedidelis temperatūros pokytis gali sukelti staigų membranos medžiagos garavimo greičio pokytį. Todėl labai svarbu tiksliai kontroliuoti garavimo temperatūrą plėvelės nusodinimo metu, kad būtų išvengta didelio temperatūros gradiento, kaitinant garavimo šaltinį. Plėvelės medžiagai, kurią lengva sublimuoti, taip pat labai svarbu pasirinkti pačią medžiagą kaip šildytuvą garinimui ir kitoms priemonėms.
5. Pagrindo ir dengimo kameros valymo būsena turės įtakos dengimo savybėms
Negalima ignoruoti pagrindo ir dengimo kameros švaros poveikio dangos veikimui. Tai ne tik rimtai paveiks nusodintos plėvelės grynumą, bet ir sumažins plėvelės sukibimą. Todėl pagrindo valymas, vakuuminės dengimo kameros ir su ja susijusių komponentų (pvz., pagrindo rėmo) valymas ir paviršiaus degazavimas yra būtini vakuuminio dengimo proceso procesai.
Įrašo laikas: 2023 m. vasario 28 d.