Prasidėjus membranos atomų nusėdimui, jonų bombardavimas membranos ir substrato sąsajai daro tokį poveikį.
(1) Fizinis maišymas. Dėl didelės energijos jonų injekcijos, nusodintų atomų dulkinimo, paviršinių atomų atatrankos injekcijos ir kaskadinio susidūrimo reiškinio substrato elementai ir membranos elementai paviršiuje susimaišys nedifuziškai. Šis maišymo efektas padės susidaryti membranos ir bazės sąsajos „pseudodifuziniam sluoksniui“, t. y. pereinamajam sluoksniui tarp membranos ir bazės sąsajos, kurio storis gali siekti iki kelių mikronų. Kelių mikrometrų storio, kuriame gali atsirasti net naujų fazių, tai labai palanku pagerinti membranos ir bazės sąsajos sukibimo stiprumą.
(2) Padidėjusi difuzija. Didelė defektų koncentracija artimoje paviršiaus srityje ir aukšta temperatūra padidina difuzijos greitį. Kadangi paviršius yra taškinis defektas, maži jonai linkę nukreipti paviršių, o jonų bombardavimas dar labiau sustiprina paviršiaus nukreipimą ir sustiprina abipusę nusodintų ir substrato atomų difuziją.
(3) Patobulintas branduolio susidarymo būdas. Ant substrato paviršiaus kondensuoto atomo savybes lemia jo paviršiaus sąveika ir migracijos savybės paviršiuje. Jei nėra stiprios sąveikos tarp kondensuoto atomo ir substrato paviršiaus, atomas difunduos paviršiuje, kol susidarys branduolys didelės energijos padėtyje arba susidurs su kitais difunduojančiais atomais. Šis branduolio susidarymo būdas vadinamas nereaktyviuoju branduoliavimu. Net jei originalus atvejis priklauso nereaktyviajam branduolio susidarymo būdui, jonų bombardavimas ant substrato paviršiaus gali sukelti daugiau defektų, padidindamas branduolio tankį, o tai yra palankesnė difuzijos-reaktyviojo branduolio susidarymo būdo formavimuisi.
(4) Pirmenybė teikiama silpnai sujungtų atomų pašalinimui. Paviršiaus atomų išdulkėjimą lemia vietinė jungimosi būsena, o paviršiaus jonų bombardavimas labiau linkęs išdulkinti silpnai sujungtus atomus. Šis efektas labiau ryškus difuzijos reaktyviųjų sąsajų formavimosi metu.
(5) Pagerintas paviršiaus padengimas ir dengimo apeiga. Dėl didelio joninio dengimo darbinių dujų slėgio išgaruoti arba išpurkšti atomai susiduria su dujų atomais, kad pagerėtų sklaida, todėl danga gauna geras apgaubiamojo sluoksnio savybes.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. gruodžio 9 d.