ໃນລະຫວ່າງການເຄືອບ evaporation, nucleation ແລະການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນຮູບເງົາແມ່ນພື້ນຖານຂອງເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບ ion ຕ່າງໆ.
1.Nucleation
Inເຕັກໂນໂລຍີການເຄືອບການລະເຫີຍສູນຍາກາດ, ຫຼັງຈາກອະນຸພາກຊັ້ນຮູບເງົາໄດ້ຖືກ evaporated ຈາກແຫຼ່ງ evaporation ໃນຮູບແບບຂອງປະລໍາມະນູ, ພວກເຂົາເຈົ້າບິນໂດຍກົງກັບ workpiece ໃນສູນຍາກາດສູງແລະປະກອບເປັນຊັ້ນຮູບເງົາໂດຍການ nucleation ແລະການຂະຫຍາຍຕົວຢູ່ດ້ານຂອງ workpiece ໄດ້. ໃນລະຫວ່າງການລະເຫີຍສູນຍາກາດ, ພະລັງງານຂອງອະຕອມຊັ້ນຮູບເງົາທີ່ຫລົບຫນີຈາກແຫຼ່ງການລະເຫີຍແມ່ນປະມານ 0.2eV. ເມື່ອຄວາມສອດຄ່ອງລະຫວ່າງອະນຸພາກຂອງຊັ້ນຟິມແມ່ນໃຫຍ່ກວ່າແຮງຜູກມັດລະຫວ່າງປະລໍາມະນູຂອງຊັ້ນຮູບເງົາແລະຊິ້ນວຽກ, ປະກອບເປັນແກນເກາະ. Atom atom layer single film stays on the surface of the workpiece for the period of time do irregular motion , diffusing , migration , or collision with other atoms to form atom clusters ຈໍານວນຂອງປະລໍາມະນູໃນກຸ່ມປະລໍາມະນູໄດ້ເຖິງມູນຄ່າທີ່ສໍາຄັນສະເພາະໃດຫນຶ່ງ, ນິວເຄລຍທີ່ຫມັ້ນຄົງໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນ, ເອີ້ນວ່າ nucleus ຮູບຮ່າງ homogeneous.
ກ້ຽງ, ແລະປະກອບດ້ວຍຂໍ້ບົກພ່ອງຫຼາຍແລະຂັ້ນຕອນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງແຮງ adsorption ຂອງພາກສ່ວນທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງ workpiece ກັບປະລໍາມະນູ radioactive ໄດ້. ພະລັງງານ adsorption ຂອງຫນ້າດິນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງແມ່ນໃຫຍ່ກວ່າຂອງພື້ນຜິວປົກກະຕິ, ສະນັ້ນມັນກາຍເປັນສູນກາງການເຄື່ອນໄຫວ, ທີ່ເອື້ອອໍານວຍໃຫ້ແກ່ nucleation ນິຍົມ, ເອີ້ນວ່າ nucleation heterogeneous. ເມື່ອຜົນບັງຄັບໃຊ້ທີ່ຕິດກັນແມ່ນເທົ່າກັບແຮງຜູກມັດ, ຫຼືແຮງຜູກມັດລະຫວ່າງປະລໍາມະນູຂອງເຍື່ອແລະຊິ້ນວຽກແມ່ນຫຼາຍກ່ວາຜົນບັງຄັບໃຊ້ທີ່ຕິດກັນລະຫວ່າງອະຕອມຂອງເຍື່ອ, ໂຄງສ້າງ lamellar ຈະຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນ. ໃນເທກໂນໂລຍີການເຄືອບ ion, ແກນເກາະຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໃນກໍລະນີຫຼາຍທີ່ສຸດ.
2. ການຂະຫຍາຍຕົວ
ເມື່ອແກນຂອງຮູບເງົາໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນ, ມັນຍັງສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍຕົວໂດຍການໃສ່ກັບດັກຂອງປະລໍາມະນູເຫດການ. ເກາະດອນຈະເລີນເຕີບໂຕແລະສົມທົບກັບກັນແລະກັນເພື່ອປະກອບເປັນ hemispheres ຂະຫນາດໃຫຍ່, ຄ່ອຍໆປະກອບເປັນຊັ້ນເກາະ hemispherical ທີ່ແຜ່ຂະຫຍາຍຢູ່ດ້ານຂອງ workpiece ໄດ້.
ເມື່ອພະລັງງານປະລໍາມະນູຂອງຊັ້ນຟິມສູງ, ມັນສາມາດແຜ່ລາມອອກສູ່ພື້ນຜິວໄດ້ຢ່າງພຽງພໍ ແລະ ຟິມແບບຕໍ່ເນື່ອງທີ່ລຽບສາມາດສ້າງຂື້ນໄດ້ ເມື່ອກຸ່ມປະລໍາມະນູທີ່ເຂົ້າມາຕໍ່ມາມີຂະໜາດນ້ອຍ. ຖ້າການແຜ່ກະຈາຍຂອງປະລໍາມະນູຢູ່ເທິງພື້ນຜິວອ່ອນລົງ ແລະ ຂະໜາດຂອງກຸ່ມທີ່ຝາກໄວ້ມີຂະໜາດໃຫຍ່, ພວກມັນມີຢູ່ເປັນແກນແຫຼມໃຫຍ່. ຜົນກະທົບ”.ການຄາດຄະເນຂອງພື້ນຜິວແມ່ນເອື້ອອໍານວຍໃຫ້ແກ່ການຈັບເອົາປະລໍາມະນູທີ່ຝາກໄວ້ຕໍ່ມາແລະການຈະເລີນເຕີບໂຕທີ່ມັກ, ສົ່ງຜົນໃຫ້ລະດັບ concavity ເພີ່ມຂຶ້ນໃນຫນ້າດິນເປັນໄປເຊຍກັນຮູບຈວຍຫຼື columnar ຂະຫນາດພຽງພໍ. ການເຈາະ voids ໄດ້ຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນລະຫວ່າງໄປເຊຍກັນເປັນຮູບຈວຍແລະມູນຄ່າການ roughness ດ້ານເພີ່ມຂຶ້ນ. ເນື້ອເຍື່ອລະອຽດສາມາດໄດ້ຮັບການສູນຍາກາດສູງ, ມີການຫຼຸດລົງຂອງລະດັບສູນຍາກາດ, microstructure ຂອງເຍື່ອກາຍເປັນຫນາແລະຫນາ.
ເວລາປະກາດ: 24-05-2023

