ເມື່ອການຖິ້ມປະລໍາມະນູຂອງເຍື່ອເມືອກເລີ່ມຕົ້ນ, ການລະເບີດຂອງ ion ມີຜົນກະທົບດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້ກ່ຽວກັບການໂຕ້ຕອບຂອງເຍື່ອ / substrate.
(1) ການປະສົມທາງດ້ານຮ່າງກາຍ. ເນື່ອງຈາກວ່າການສີດ ion ພະລັງງານສູງ, sputtering ຂອງປະລໍາມະນູເງິນຝາກແລະການສີດ recoil ຂອງປະລໍາມະນູຂອງຫນ້າດິນແລະປະກົດການ collision cascade, ຈະເຮັດໃຫ້ພື້ນທີ່ໃກ້ຄຽງຂອງສ່ວນຕິດຕໍ່ຂອງເຍື່ອ / ພື້ນຖານຂອງອົງປະກອບ substrate ແລະອົງປະກອບເຍື່ອຂອງການປະສົມບໍ່ແຜ່ກະຈາຍ, ຜົນກະທົບການປະສົມນີ້ຈະເອື້ອອໍານວຍໃຫ້ແກ່ການສ້າງຕັ້ງຂອງຊັ້ນເຍື່ອ / ພື້ນຖານ, ການໂຕ້ຕອບຂອງ "ການຖ່າຍທອດ" ການໂຕ້ຕອບຂອງເຍື່ອ / ພື້ນຖານ, ສູງເຖິງສອງສາມໄມຄອນ. ບໍ່ຫຼາຍປານໃດ micrometers ຫນາ, ໃນໄລຍະໃຫມ່ອາດຈະປາກົດຂຶ້ນ. ນີ້ແມ່ນເອື້ອອໍານວຍຫຼາຍເພື່ອປັບປຸງຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງ adhesion ຂອງການໂຕ້ຕອບເຍື່ອ / ພື້ນຖານ.
(2) ປັບປຸງການແຜ່ກະຈາຍ. ຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງສູງໃນພື້ນທີ່ໃກ້ກັບພື້ນຜິວແລະອຸນຫະພູມສູງເຮັດໃຫ້ອັດຕາການແຜ່ກະຈາຍ. ເນື່ອງຈາກພື້ນຜິວເປັນຈຸດບົກຜ່ອງ, ion ຂະຫນາດນ້ອຍມີທ່າອ່ຽງທີ່ຈະ deflect ດ້ານ, ແລະການລະເບີດຂອງ ion ມີຜົນກະທົບຂອງການປັບປຸງການ deflection ຂອງຫນ້າດິນເພີ່ມເຕີມແລະເສີມຂະຫຍາຍການແຜ່ກະຈາຍເຊິ່ງກັນແລະກັນຂອງປະລໍາມະນູເງິນຝາກແລະ substrate.
(3) ປັບປຸງຮູບແບບ nucleation. ຄຸນສົມບັດຂອງປະລໍາມະນູທີ່ condensed ເທິງພື້ນຜິວ substrate ໄດ້ຖືກກໍານົດໂດຍປະຕິສໍາພັນຂອງຫນ້າດິນແລະຄຸນສົມບັດການເຄື່ອນຍ້າຍຂອງມັນຢູ່ດ້ານ. ຖ້າບໍ່ມີປະຕິສໍາພັນທີ່ເຂັ້ມແຂງລະຫວ່າງປະລໍາມະນູ condensed ກັບຫນ້າດິນຂອງ substrate, ປະລໍາມະນູຈະແຜ່ກະຈາຍຢູ່ດ້ານຈົນກ່ວາ nucleates ຢູ່ໃນຕໍາແຫນ່ງທີ່ມີພະລັງງານສູງຫຼື colliding ກັບປະລໍາມະນູກະຈາຍອື່ນໆ. ຮູບແບບຂອງ nucleation ນີ້ເອີ້ນວ່າ nucleation ທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ. ເຖິງແມ່ນວ່າຕົ້ນສະບັບຈະເປັນກໍລະນີຂອງຮູບແບບ nucleation ທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຢາ, ໂດຍການລະເບີດຂອງ ion ຂອງຫນ້າດິນ substrate ສາມາດຜະລິດຂໍ້ບົກພ່ອງຫຼາຍ, ການເພີ່ມຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ nucleation, ເຊິ່ງສະດວກຫຼາຍຕໍ່ການສ້າງຕັ້ງຂອງການແຜ່ກະຈາຍ - ຮູບແບບ nucleation reactive.
(4) ການໂຍກຍ້າຍທີ່ນິຍົມຂອງປະລໍາມະນູຜູກມັດວ່າງ. ການ sputtering ຂອງປະລໍາມະນູຂອງຫນ້າດິນແມ່ນຖືກກໍານົດໂດຍລັດຜູກມັດທ້ອງຖິ່ນ, ແລະການລະເບີດຂອງ ion ຂອງຫນ້າດິນມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະ sputter ອອກປະລໍາມະນູທີ່ຜູກມັດວ່າງ. ຜົນກະທົບນີ້ແມ່ນຊັດເຈນກວ່າໃນການສ້າງການໂຕ້ຕອບການແຜ່ກະຈາຍ - reactive.
(5) ການປັບປຸງການປົກຫຸ້ມຂອງຫນ້າດິນແລະການປັບປຸງຂອງ bypass ແຜ່ນ. ເນື່ອງຈາກຄວາມກົດດັນຂອງອາຍແກັສທີ່ເຮັດວຽກສູງຂອງແຜ່ນ ion, ປະລໍາມະນູ evaporated ຫຼື sputtered ແມ່ນຂຶ້ນກັບການ collision ກັບປະລໍາມະນູຂອງອາຍແກັສເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍການກະແຈກກະຈາຍ, ສົ່ງຜົນໃຫ້ມີຄຸນສົມບັດການຫຸ້ມຫໍ່ທີ່ດີ.
- ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ຖືກປ່ອຍອອກມາຈາກຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາປະກາດ: ວັນທີ 09-09-2023