Wann d'Oflagerung vun Membranatome ufänkt, huet d'Ionenbombardement déi folgend Auswierkungen op d'Grenzfläche tëscht Membran a Substrat.
(1) Physikalesch Mëschung. Wéinst der Injektioun vun héichenergeteschen Ionen, dem Sputteren vun den ofgesaten Atomer an der Réckstoussinjektioun vun Uewerflächenatome souwéi dem Kaskadekollisiounsphänomen, gëtt d'Uewerflächennofläch vun der Membran/Basis-Grenzfläch vun de Substratelementer an de Membranelementer net-diffusiiv vermëscht. Dëse Mëscheffekt dréit zur Bildung vun der "Pseudodiffusiounsschicht" vun der Membran/Basis-Grenzfläch bäi, dat heescht der Iwwergangsschicht tëscht der Membran/Basis-Grenzfläch, déi bis zu e puer Mikrometer déck ass. E puer Mikrometer déck, an där souguer nei Phasen optriede kënnen. Dëst ass ganz gënschteg fir d'Adhäsiounsstäerkt vun der Membran/Basis-Grenzfläch ze verbesseren.
(2) Verstäerkt Diffusioun. Déi héich Defektkonzentratioun an der noer Uewerflächenregioun an déi héich Temperatur erhéijen d'Diffusiounsquote. Well d'Uewerfläch e Punktdefekt ass, hunn kleng Ionen d'Tendenz, d'Uewerfläch ofzelenken, an d'Ionenbombardement huet den Effekt, d'Uewerflächenoflenkung weider ze erhéijen an déi géigesäiteg Diffusioun vun ofgelagerten an Substratatome ze verbesseren.
(3) Verbesserten Nukleatiounsmodus. D'Eegeschafte vum Atom, deen op der Substratoberfläch kondenséiert ass, ginn duerch seng Uewerflächeninteraktioun a seng Migratiounseegeschafte op der Uewerfläch bestëmmt. Wann et keng staark Interaktioun tëscht dem kondenséierten Atom an der Uewerfläch vum Substrat gëtt, diffundéiert den Atom op der Uewerfläch, bis en op enger Héichenergiepositioun nukleéiert oder mat aneren diffuséierenden Atomer kollidéiert. Dës Modus vun der Nukleatioun gëtt net-reaktiv Nukleatioun genannt. Och wann den ursprénglechen zum Fall vun der net-reaktiver Nukleatiounsmodus gehéiert, kann duerch Ionenbombardement vun der Substratoberfläch méi Defekter produzéieren, wouduerch d'Nukleatiounsdicht eropgeet, wat méi förderlech fir d'Bildung vun Diffusioun ass - reaktive Nukleatiounsmodus.
(4) Bevorzugt Entfernung vu locker gebonnenen Atomer. D'Sputterung vun Uewerflächenatome gëtt vum lokalen Bindungszoustand bestëmmt, an Ionenbombardement vun der Uewerfläch huet eng méi héich Wahrscheinlechkeet, datt locker gebonnen Atomer eraussputteren. Dësen Effekt ass méi ausgeprägt bei der Bildung vun Diffusiounsreaktiven Grenzflächen.
(5) Verbesserung vun der Uewerflächenofdeckung a Verstäerkung vum Beschichtungsbypass. Wéinst dem héijen Aarbechtsgasdrock beim Ionenbeschichtung ginn verdampft oder gesputtert Atomer mat Gasatome kollidéiert, fir d'Streuung ze verbesseren, wat zu gudde Beschichtungsëmwéckeleigenschaften féiert.
– Dësen Artikel gouf publizéiert vunHiersteller vu VakuumbeschichtungsmaschinnenGuangdong Zhenhua
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 09. Dezember 2023