Konventionell Technike fir d'Oflagerung vun haarde Beschichtungen

1. Thermesch CVD Technologie

Haart Beschichtunge si meeschtens Metallkeramikbeschichtungen (TiN, etc.), déi duerch d'Reaktioun vu Metall an der Beschichtung a reaktiv Vergasung entstinn. Ufanks gouf d'thermesch CVD-Technologie benotzt fir d'Aktivéierungsenergie vun der Kombinatiounsreaktioun duerch thermesch Energie bei enger héijer Temperatur vun 1000 ℃ ze liwweren. Dës Temperatur ass nëmme gëeegent fir TiN an aner haart Beschichtungen op Hartmetall-Tools ofzesetzen. Bis elo ass et nach ëmmer eng wichteg Technologie fir d'Ofsetzen vun TiN-Al2O3-Kompositbeschichtungen op Hartmetall-Toolkäpp.

1. Hohlkathode-Ionenbeschichtung a waarme Drot-Bogen-Ionenbeschichtung

An den 1980er Joren goufen Hohlkathode-Ionenbeschichtungen a Beschichtung mat waarmem Drot-Loftbogen-Ionen benotzt fir beschichtete Schneidwierkszeug ofzesetzen. Béid Ionenbeschichtungstechnologien si Bogentladungs-Ionenbeschichtungstechnologien, mat enger Metallioniséierungsquote vu bis zu 20%~40%.

1. Kathode-Bogenionenbeschichtung

D'Entstoe vun der kathodescher Béi-Ionen-Beschichtung huet zu der Entwécklung vun der Technologie fir d'Oflagerung vun haarde Beschichtungen op Formen gefouert. D'Ioniséierungsquote vun der kathodescher Béi-Ionen-Beschichtung ass 60%~90%, wouduerch eng grouss Zuel vu Metallionen a Reaktiounsgasionen d'Uewerfläch vum Werkstéck erreechen an trotzdem eng héich Aktivitéit behalen kënnen, wat zu enger Reaktiounsoflagerung an der Bildung vun haarde Beschichtungen wéi TiN féiert. Am Moment gëtt d'kathodesch Béi-Ionen-Beschichtungstechnologie haaptsächlech benotzt fir haart Beschichtungen op Formen ofzesetzen.

D'Kathodebouquell ass eng Festkierperverdampfungsquell ouni e fixe Schmelzpool, an d'Positioun vun der Bouquell kann arbiträr placéiert ginn, wat d'Plaznutzungsquote vum Beschichtungsraum verbessert an d'Ladekapazitéit vum Uewen erhéicht. D'Formen vun de Kathodebouquellen enthalen kleng kreesfërmeg Kathodebouquellen, säulenförmig Bouquellen a rechteckeg flaach grouss Bouquellen. Verschidde Komponenten vu klenge Bouquellen, säulenförmigen Bouquellen a grouss Bouquellen kënnen separat arrangéiert ginn, fir Méischichtfilmer an Nano-Méischichtfilmer ofzesetzen. Mëttlerweil, wéinst der héijer Metallioniséierungsquote vun der kathodescher Bouionenbeschichtung, kënnen Metallionen méi Reaktiounsgase absorbéieren, wat zu engem breede Prozessberäich an enger einfacher Operatioun féiert, fir exzellent haart Beschichtungen ze kréien. Wéi och ëmmer, et ginn déck Drëpsen an der Mikrostruktur vun der Beschichtungsschicht, déi duerch d'kathodesch Bouionenbeschichtung kritt gëtt. An de leschte Jore sinn vill nei Technologien entstanen, fir d'Struktur vun der Filmschicht ze verfeineren, wat d'Qualitéit vum Bouionenbeschichtungsfilm verbessert huet.