- Термикалык CVD технологиясы
Катуу жабуулар көбүнчө металл керамикалык каптамалар (TiN ж. б.), алар каптоодогу металлдын реакциясынан жана реактивдүү газдаштыруудан пайда болот. Алгач, жылуулук CVD технологиясы 1000 ℃ жогорку температурада жылуулук энергиясы менен Комбинация реакциясынын активдешүү энергиясын камсыз кылуу үчүн колдонулган. Бул температура цементтелген карбид куралдарына TiN жана башка катуу жабууларды салуу үчүн гана ылайыктуу. Азырынча бул цементтелген карбиддик аспаптын баштарына TiN – Al2O3 композиттик каптоолорун салуу үчүн дагы эле маанилүү технология болуп саналат.
- Көңдөй катод иондук каптоо жана ысык зым жаасы иондук каптоо
1980-жылдары капталган кесүүчү шаймандарды коюу үчүн көңдөй катод иондук каптоо жана ысык зым иондук каптоо колдонулган. Бул эки ион каптоо технологиялары 20% ~ 40% га чейин металл иондоштуруу курсу менен, жаасы разряд ион каптоо технологиялар болуп саналат.
- Катоддук иондук каптоо
Катоддук дога ионунун пайда болушу калыптарга катуу каптамаларды салуу технологиясын иштеп чыгууга алып келди. Катоддук дога иондук каптоосунун иондошуу ылдамдыгы 60% ~ 90% түзөт, бул көп сандагы металл иондорунун жана реакциялык газ иондорунун даярдалган бөлүгүнүн бетине жетип, дагы эле жогорку активдүүлүктү сактап калууга мүмкүндүк берет, натыйжада TiN сыяктуу катуу каптамалар пайда болот. Азыркы учурда, катоддук жаасы иондук каптоо технологиясы, негизинен, калыптарга катуу каптоо үчүн колдонулат.
Катоддук жаа булагы - бул туруктуу эриген бассейни жок катуу абалдагы буулануу булагы, ал эми жаа булагы позициясын өзүм билемдик менен жайгаштырса болот, каптоо бөлмөсүнүн мейкиндигин пайдалануу курсун жакшыртат жана мештин жүктөө жөндөмдүүлүгүн жогорулатат. Катоддук жаа булактарынын формаларына кичинекей тегерек катоддук жаа булактары, мамычалуу дога булактары жана тик бурчтуу жалпак чоң жаа булактары кирет. Чакан жаа булактарынын, мамычалуу жаа булактарынын жана чоң жаа булактарынын ар кандай компоненттери көп катмарлуу пленкалар жана нано көп катмарлуу пленкалар үчүн өзүнчө жайгаштырылышы мүмкүн. Ошол эле учурда, катоддук жаа ион каптоо жогорку металл иондошуу ылдамдыгы, металл иондору абдан жакшы катуу жабууну алуу үчүн кенен жараян диапазону жана жөнөкөй иш натыйжасында, көбүрөөк реакция газдарды соруп алат. Бирок катоддук дога иондук каптоо менен алынган каптоо катмарынын микроструктурасында одоно тамчылар бар. Акыркы жылдарда пленка катмарынын структурасын тактоо үчүн көптөгөн жаңы технологиялар пайда болду, бул дога иондук каптоочу пленканын сапатын жакшыртты.
Посттун убактысы: 20-июль-2023