Amûrên paqijkirina plazmaya valahiyê avahiyek yekgirtî digirin, ku bi pergala paqijkirina îyonê RF, kontrola bi tevahî otomatîk, xebitandin û parastinê rehet in.
Jeneratorê frekanseke bilind a RF dikare plazmaya densiteya bilind çêbike, rûyê perçeyê kar çalak bike, bikolîne û bişewitîne, bi bandor toz û rûnê li ser rûyê hilberê rake, stresa rûyê berde, û guhertinên cûrbecûr li ser rûyê perçeyê kar bi dest bixe.
Ew ji bo lastîkî, cam, seramîk, metal û hilberên din tê sepandin, û li ser mîkroelektronîk, LCD, LED, LCM, panela çerxa PCB, pakkirina nîvconductor, amûrên bijîşkî, ceribandinên zanistên jiyanê û warên din tê sepandin.