Faktorên ku bandorê li jehrîbûna hedefê di sputterkirina magnetronê de dikin çi ne?

1, Pêkhatina pêkhateyên metalî li ser rûyê hedef
Têkelê ku di pêvajoya çêkirina têkelê de ji rûyê hedefek metalî bi pêvajoyek sputterkirina reaktîf çêdibe li ku derê ye? Ji ber ku reaksiyona kîmyewî ya di navbera perçeyên gaza reaktîf û atomên rûyê hedef de atomên têkel çêdike, ku bi gelemperî eksotermîk e, divê germahiya reaksiyonê rêyek hebe ku derkeve, wekî din reaksiyona kîmyewî nikare berdewam bike. Di bin şert û mercên valahiyê de, veguhastina germê di navbera gazan de ne mimkûn e, ji ber vê yekê reaksiyona kîmyewî divê li ser rûyek hişk pêk were. Sputterkirina reaksiyonê têkel li ser rûyên hedef, rûyên substratê û rûyên din ên avahîsaziyê çêdike. Çêkirina têkelan li ser rûyê substratê armanc e, çêkirina têkelan li ser rûyên din ên avahîsaziyê îsrafkirina çavkaniyan e, û çêkirina têkelan li ser rûyê hedef wekî çavkaniyek atomên têkel dest pê dike û dibe astengiyek ji bo peydakirina berdewam a atomên têkel ên bêtir.

2, Faktorên bandora jehrîbûna hedef
Faktora sereke ya ku bandorê li jehrîbûna hedefê dike rêjeya gaza reaksiyonê û gaza sputterkirinê ye, pir zêde gaza reaksiyonê dê bibe sedema jehrîbûna hedefê. Pêvajoya sputterkirina reaktîf di rûyê hedefê de tê kirin, qada kanala sputterkirinê xuya dike ku ji hêla pêkhateya reaksiyonê ve hatiye nixumandin an jî pêkhateya reaksiyonê tê rakirin û rûyê metalî ji nû ve tê eşkerekirin. Ger rêjeya çêbûna pêkhateyê ji rêjeya rakirina pêkhateyê mezintir be, qada nixumandina pêkhateyê zêde dibe. Di hêzek diyarkirî de, mîqdara gaza reaksiyonê ya ku di çêbûna pêkhateyê de beşdar dibe zêde dibe û rêjeya çêbûna pêkhateyê zêde dibe. Ger mîqdara gaza reaksiyonê zêde zêde bibe, qada nixumandina pêkhateyê zêde dibe. Û heke rêjeya herikîna gaza reaksiyonê di wextê xwe de neyê sererast kirin, rêjeya zêdebûna qada nixumandina pêkhateyê nayê tepeserkirin, û kanala sputterkirinê dê ji hêla pêkhateyê ve bêtir were nixumandin, dema ku armanca sputterkirinê bi tevahî ji hêla pêkhateyê ve were nixumandin, hedef bi tevahî jehrî dibe.

3, Diyardeya jehrîbûna hedef
(1) kombûna îyonên erênî: dema ku hedef jehrî dibe, qatek ji fîlma îzolekirinê li ser rûyê hedef çêdibe, îyonên erênî ji ber astengkirina qata îzolekirinê digihîjin rûyê hedefa katodê. Rasterast nakevin rûyê hedefa katodê, lê li ser rûyê hedefê kom dibin, bi hêsanî zeviya sar çêdibe da ku bibe sedema rijandina kevanê - kevan, ji ber vê yekê rijandina katodê nikare berdewam bike.
(2) windabûna anodê: dema ku hedef jehrî dibe, dîwarê odeya valahiya erdî jî fîlma îzolekirinê çêdike, digihîje anodê û elektron nikarin bikevin anodê, ku dibe sedema fenomena windabûna anodê.

4, Şirovekirina fîzîkî ya jehrîbûna hedef
(1) Bi gelemperî, katsayiya belavbûna elektrona duyemîn a pêkhateyên metalî ji ya metalan bilindtir e. Piştî jehrîbûna hedefê, rûyê hedefê bi tevahî pêkhateyên metalî ye, û piştî ku ji hêla iyonan ve tê bombebaran kirin, hejmara elektronên duyemîn ên ku têne berdan zêde dibe, ku guhêzbariya fezayê baştir dike û împedansa plazmayê kêm dike, ku dibe sedema voltaja sputterkirinê ya kêmtir. Ev rêjeya sputterkirinê kêm dike. Bi gelemperî voltaja sputterkirinê ya sputterkirina magnetronê di navbera 400V-600V de ye, û dema ku jehrîbûna hedefê çêdibe, voltaja sputterkirinê bi girîngî kêm dibe.
(2) Rêjeya sputterkirina hedefa metalî û hedefa pêkhatî di destpêkê de ji hev cuda ne, bi gelemperî katsayiya sputterkirina metalî ji katsayiya sputterkirina pêkhateyê bilindtir e, ji ber vê yekê rêjeya sputterkirinê piştî jehrîbûna hedefê kêm e.
(3) Karîgeriya sputterkirina gaza sputterkirina reaktîf di destpêkê de ji karîgeriya sputterkirina gaza bêbandor kêmtir e, ji ber vê yekê rêjeya sputterkirina berfireh piştî ku rêjeya gaza reaktîf zêde dibe kêm dibe.

5, Çareseriyên ji bo jehrîbûna hedef
(1) Dabînkirina hêza frekansa navîn an dabînkirina hêza frekansa radyoyê bikar bînin.
(2) Kontrola çerxa girtî ya herikîna gaza reaksiyonê qebûl bike.
(3) Armancên cêwî qebûl bikin
(4) Guhertina moda pêçandinê kontrol bike: Berî pêçandinê, xêza bandora hîsteresisê ya jehrîbûna hedefê tê berhevkirin da ku herikîna hewaya ketinê li pêşiya hilberandina jehrîbûna hedefê were kontrol kirin da ku pê ewle bibe ku pêvajo her gav di modê de ye berî ku rêjeya danînê bi tundî dakeve.

–Ev gotar ji hêla Guangdong Zhenhua Technology ve, hilberînerê alavên boyaxkirina valahiyê, hatiye weşandin.