Depozîsyona Buxara Kîmyayî (CVD). Wekî ku ji navê wê diyar e, ew teknîkek e ku reaktantên pêşeng ên gazî bikar tîne da ku bi rêya reaksiyonên kîmyewî yên atomî û navmolekulî fîlmên hişk çêbike. Berevajî PVD, pêvajoya CVD bi piranî di hawîrdorek zexta bilindtir (valahiya nizmtir) de tê kirin, û zexta bilindtir bi giranî ji bo zêdekirina rêjeya depozîsyona fîlmê tê bikar anîn. Depozîsyona buxara kîmyewî dikare li gorî beşdarbûna plazma di pêvajoya depozîsyonê de wekî CVD-ya giştî (ku wekî CVD-ya germî jî tê zanîn) û depozîsyona buxara kîmyewî ya bi plazma-zêdekirî (Depozîsyona Buxara Kîmyayî ya Bi Plazma-Zêdekirî. PECVD) were dabeş kirin. Ev beş li ser teknolojiya PECVD-ê disekine, di nav de pêvajoya PECVD û alavên PECVD-ê yên ku bi gelemperî têne bikar anîn û prensîba xebatê.
Depokirina buxara kîmyewî ya bi plazmayê ve zêdekirî teknîkek depokirina buxara kîmyewî ya fîlma zirav e ku plazmaya derxistina şewqdar bikar tîne da ku bandorê li ser pêvajoya depokirinê bike dema ku pêvajoya depokirina buxara kîmyewî ya bi zexta nizm pêk tê. Di vê wateyê de, teknolojiya CVD ya kevneşopî ji bo pêkanîna reaksiyona kîmyewî ya di navbera madeyên qonaxa gazê û depokirina fîlmên zirav de li ser germahiyên substratê yên bilindtir disekine, û ji ber vê yekê dikare wekî teknolojiya CVD ya germî were binavkirin.
Di cîhaza PECVD de, zexta gaza xebatê bi qasî 5~500 Pa ye, û tîrbûna elektron û îyonan dikare bigihîje 109~1012/cm3, di heman demê de enerjiya navînî ya elektronan dikare bigihîje 1~10 eV. Tiştê ku rêbaza PECVD ji rêbazên din ên CVD cuda dike ev e ku plazma hejmareke mezin ji elektronên enerjiya bilind dihewîne, ku dikarin enerjiya çalakkirinê ya pêwîst ji bo pêvajoya danîna buxara kîmyewî peyda bikin. Pevçûna elektron û molekulên qonaxa gazê dikare pêvajoyên hilweşîn, senteza kîmosyenzê, ajîtasyon û îyonîzasyonê yên molekulên gazê pêşve bibe, komên kîmyewî yên pir reaktîf çêbike, bi vî rengî rêza germahiyê ya danîna fîlma zirav a CVD bi girîngî kêm dike, û gengaz dike ku pêvajoya CVD pêk were, ku di destpêkê de hewce ye ku di germahiyên bilind de, di germahiyên nizm de were kirin. Avantaja danîna fîlma zirav a germahiya nizm ev e ku ew dikare ji belavbûna nehewce û reaksiyona kîmyewî di navbera fîlm û substratê de, guhertinên avahî û xirabûna fîlm an materyalê substratê, û stresên germî yên mezin di fîlm û substratê de dûr bisekine.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 18ê Nîsanê, 2024