Du awayên sereke yên danîna bi alîkariya tîrêjên îyonî hene, yek hîbrîda dînamîk e; ya din hîbrîda statîk e. Ya berê behsa fîlmê dike ku di pêvajoya mezinbûnê de her gav bi enerjî û herikek tîrêjê ya diyarkirî ya bombebarana îyonî û fîlmê re tê; ya paşîn li ser rûyê substratê qatek bi qalindahiya kêmtir ji çend nanometreyan a qata fîlmê pêş-danîn e, û dûv re bombebarana îyonî ya dînamîk, û dikare gelek caran were dubarekirin û mezinbûna qata fîlmê.
Enerjiyên tîrêjên îyonê yên ku ji bo danîna fîlmên tenik bi alîkariya tîrêjên îyonê hatine hilbijartin di navbera 30 eV û 100 keV de ne. Rêzeya enerjiyê ya ku hatiye hilbijartin bi celebê sepanê ve girêdayî ye ku fîlm ji bo wê tê sentezkirin. Mînakî, amadekirina parastina korozyonê, li dijî aşîna mekanîkî, pêçanên xemilandî û fîlmên din ên tenik divê enerjiya bombebaranê ya bilindtir werin hilbijartin. Ceribandin nîşan didin ku, wekî hilbijartina enerjiya 20 heta 40keV ya bombebarana tîrêjên îyonê, materyalê substratê û fîlm bi xwe dê bandorê li performans û karanîna zirarê neke. Di amadekirina fîlmên tenik de ji bo cîhazên optîkî û elektronîkî, divê danîna bi alîkariya tîrêjên îyonê ya enerjiya kêmtir were hilbijartin, ku ne tenê adsorpsiyona ronahiyê kêm dike û ji çêbûna kêmasiyên elektrîkî yên çalak dûr dikeve, lê di heman demê de çêbûna avahiya rewşa domdar a perdeyê jî hêsan dike. Lêkolînan nîşan dane ku fîlmên bi taybetmendiyên hêja dikarin bi hilbijartina enerjiyên îyonê yên ji 500 eV kêmtir werin bidestxistin.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 11ê Adarê, 2024