Teknîkên kevneşopî ji bo danîna pêçanên hişk

1. Teknolojiya CVD ya germî

Pêçanên hişk bi piranî pêçanên metal-seramîk (TiN, hwd.) in, ku ji reaksiyona metalê di pêçanê de û gazkirina reaktîf çêdibin. Di destpêkê de, teknolojiya CVD ya germî ji bo peyda kirina enerjiya çalakkirina reaksiyona Têkelkirinê bi enerjiya germî di germahiyek bilind a 1000 ℃ de hate bikar anîn. Ev germahî tenê ji bo danîna TiN û pêçanên din ên hişk li ser amûrên karbîdê yên çîmentokirî guncaw e. Heta niha, ew hîn jî teknolojiyek girîng e ji bo danîna pêçanên kompozît ên TiN-Al2O3 li ser serên amûrên karbîdê yên çîmentokirî.

1. Pêçandina îyonê ya katodê vala û pêçandina îyonê ya arka têla germ

Di salên 1980an de, pêçandina îyonê ya katoda vala û pêçandina îyonê ya kevana têla germ ji bo danîna amûrên birrîna pêçayî dihatin bikar anîn. Herdu teknolojiyên pêçandina îyonê jî teknolojiyên pêçandina îyonê yên berdana kevanê ne, bi rêjeya îyonîzasyona metalê heta %20~%40.

1. Pêçandina îyonê ya kevana katodê

Derketina holê ya bikaranîna îyonên kevana katodîk bûye sedema pêşxistina teknolojiya danîna pêçanên hişk li ser qaliban. Rêjeya îyonîzasyonê ya pêçana îyonên kevana katodîk %60~90 e, ku dihêle hejmareke mezin ji îyonên metal û îyonên gaza reaksiyonê bigihîjin rûyê perçeyê kar û dîsa jî çalakiya xwe ya bilind biparêzin, di encamê de dibe sedema danîna reaksiyonê û çêbûna pêçanên hişk ên wekî TiN. Niha, teknolojiya pêçana îyonên kevana katodîk bi giranî ji bo danîna pêçanên hişk li ser qaliban tê bikar anîn.

Çavkaniya kevana katodê çavkaniyeke buharbûnê ya rewşa hişk e bêyî hewzek helandî ya sabît, û pozîsyona çavkaniya kevanê dikare bi awayekî keyfî were danîn, rêjeya bikaranîna cîhê odeya pêçandinê baştir dike û kapasîteya barkirina firnê zêde dike. Şêweyên çavkaniyên kevana katodê çavkaniyên kevana katodê yên dorhêl ên piçûk, çavkaniyên kevana stûnî, û çavkaniyên kevana mezin ên çargoşeyî yên daîre vedihewîne. Pêkhateyên cûda yên çavkaniyên kevana piçûk, çavkaniyên kevana stûnî, û çavkaniyên kevana mezin dikarin ji hev cuda werin rêzkirin da ku fîlmên pir-qatî û fîlmên nano pir-qatî werin danîn. Di vê navberê de, ji ber rêjeya îyonîzasyona metal a bilind a pêçandina îyona kevana katodê, îyonên metal dikarin bêtir gazên reaksiyonê bikişînin, ku di encamê de rêzek pêvajoyek fireh û operasyonek hêsan çêdibe da ku pêçandinên hişk ên hêja werin bidestxistin. Lêbelê, di mîkro-avahiyê qata pêçandinê de ku bi pêçandina îyona kevana katodê ve hatî bidestxistin dilopên qalind hene. Di salên dawî de, gelek teknolojiyên nû derketine holê da ku avahiya qata fîlmê baştir bikin, ku kalîteya fîlma pêçandina îyona kevanê baştir kiriye.