증착코팅 시, 필름층의 핵생성과 성장은 다양한 이온코팅 기술의 기초가 됩니다.
1. 핵 생성
In진공 증착 코팅 기술필름 층 입자가 원자 형태로 증발원에서 증발된 후, 고진공 상태에서 작업물로 직접 날아가 작업물 표면에서 핵 생성 및 성장에 의해 필름 층을 형성합니다.진공 증발 동안 증발원에서 빠져나가는 필름 층 원자의 에너지는 약 0.2eV입니다.필름 층 입자 간의 응집력이 필름 층 원자와 작업물 간의 결합력보다 크면 섬 핵을 형성합니다.단일 필름 층 원자는 작업물 표면에 일정 시간 동안 머물면서 불규칙적인 움직임, 확산, 이동 또는 다른 원자와 충돌하여 원자 클러스터를 형성합니다.원자 클러스터의 원자 수가 특정 임계값에 도달하면 균일한 모양의 핵이라고 하는 안정된 핵이 형성됩니다.
매끄럽고 결함과 단차가 많아 작업물 각 부분의 방사성 원자 흡착력에 차이가 발생합니다. 결함 표면의 흡착 에너지는 일반 표면보다 크기 때문에 활성 중심이 되어, 불균일 핵생성이라고 하는 우선 핵생성이 촉진됩니다. 응집력이 결합력과 같거나, 막 원자와 작업물 사이의 결합력이 막 원자 사이의 응집력보다 크면 층상 구조가 형성됩니다. 이온 플레이팅 기술에서는 대부분 아일랜드 코어가 형성됩니다.
2. 성장
필름의 핵심이 형성되면 입사 원자를 가두어 계속해서 성장합니다. 섬은 서로 성장하고 결합하여 더 큰 반구를 형성하고 점차적으로 작업물 표면 위로 퍼지는 반구형 섬 층을 형성합니다.
필름층의 원자 에너지가 높으면 표면에서 충분히 확산될 수 있으며, 이후 유입되는 원자 클러스터가 작을 경우 매끄럽고 연속적인 필름을 형성할 수 있습니다.표면에서 원자의 확산이 약하고 증착된 클러스터의 크기가 크면 큰 반도형 핵으로 존재합니다.아일랜드 코어의 상단은 오목한 부분에 강한 음영 효과, 즉 "그림자 효과"를 갖습니다.표면의 돌출은 이후 증착된 원자를 포획하고 우선적으로 성장하는 데 더 도움이 되어 표면의 오목도가 증가하여 충분한 크기의 원뿔형 또는 원주형 결정을 형성합니다.원뿔형 결정 사이에 침투하는 공극이 형성되고 표면 거칠기 값이 증가합니다.고진공에서 미세 조직을 얻을 수 있으며, 진공도가 낮아짐에 따라 막의 미세 구조가 점점 더 두꺼워집니다.
게시 시간: 2023년 5월 24일