진공증착 도금의 성능에 영향을 미치는 요인

1. 증발 속도는 증발 코팅의 특성에 영향을 미칩니다.

증발 속도는 증착막에 큰 영향을 미칩니다. 낮은 증착 속도로 형성된 코팅 구조는 느슨하고 큰 입자가 증착되기 쉽기 때문에, 코팅 구조의 치밀성을 확보하기 위해 높은 증착 속도를 선택하는 것이 매우 안전합니다. 진공 챔버 내 잔류 가스의 압력이 일정하면 기판의 충격 속도도 일정합니다. 따라서 높은 증착 속도를 선택하면 증착막에 포함된 잔류 가스가 감소하여 잔류 가스 분자와 증착막 입자 사이의 화학 반응이 감소합니다. 따라서 증착막의 순도가 향상될 수 있습니다. 증착 속도가 너무 빠르면 막의 내부 응력이 증가하고, 막의 결함이 증가하며, 심지어 막이 파열될 수도 있다는 점에 유의해야 합니다. 특히 반응성 증발 도금 공정에서는 반응 가스가 증착막 재료 입자와 완전히 반응하도록 낮은 증착 속도를 선택할 수 있습니다. 물론, 재료에 따라 증착 속도가 달라집니다. 실제 예로, 반사막 증착을 살펴보겠습니다. 막 두께가 600×10-8cm이고 증착 시간이 3초일 때 반사율은 93%입니다. 그러나 동일한 두께 조건에서 증착 속도를 늦추면 막 증착이 완료되는 데 10분이 걸립니다. 이때 막 두께는 동일하지만 반사율은 68%로 떨어집니다.

2. 기판 온도는 증발 코팅에 영향을 미칩니다.

기판 온도는 증발 코팅에 큰 영향을 미칩니다. 기판 온도가 높을 때 기판 표면에 흡착된 잔류 가스 분자는 쉽게 제거됩니다. 특히 수증기 분자의 제거가 더욱 중요합니다. 또한, 고온에서는 물리적 흡착에서 화학적 흡착으로의 전환이 촉진되어 입자 간의 결합력이 증가합니다. 또한, 증기 분자의 재결정 온도와 기판 온도의 차이를 줄여 필름 기반 계면의 내부 응력을 줄이거나 없앨 수 있습니다. 또한, 기판 온도는 필름의 결정 상태와 관련이 있기 때문에 기판 온도가 낮거나 가열하지 않을 때 비정질 또는 미정질 코팅을 형성하기 쉽습니다. 반대로 온도가 높을 때는 결정질 코팅을 형성하기 쉽습니다. 기판 온도를 높이는 것은 코팅의 기계적 특성을 향상시키는 데에도 도움이 됩니다. 물론, 코팅의 증발을 방지하기 위해 기판 온도가 너무 높아서는 안 됩니다.

3. 진공 챔버 내 잔류 가스 압력은 필름 특성에 영향을 미칩니다.

진공 챔버 내 잔류 가스의 압력은 막 성능에 큰 영향을 미칩니다. 압력이 너무 높은 잔류 가스 분자는 증발 입자와 충돌하기 쉬울 뿐만 아니라, 기판에 있는 사람의 운동 에너지를 감소시켜 막의 접착력에 영향을 미칩니다. 또한, 잔류 가스 압력이 너무 높으면 막의 순도에 심각한 영향을 미치고 코팅 성능을 저하시킵니다.

4. 증발온도가 증발코팅에 미치는 영향

증발 온도가 막 성능에 미치는 영향은 온도에 따른 증발 속도의 변화를 통해 알 수 있습니다. 증발 온도가 높으면 기화열이 감소합니다. 막 재료가 증발 온도 이상에서 증발하면 온도의 미세한 변화만으로도 막 재료의 증발 속도가 급격히 변할 수 있습니다. 따라서 증발원 가열 시 큰 온도 구배가 발생하지 않도록 막 증착 과정에서 증발 온도를 정확하게 제어하는 ​​것이 매우 중요합니다. 승화되기 쉬운 막 재료의 경우, 재료 자체를 증발 및 기타 가열 장치로 선택하는 것 또한 매우 중요합니다.

5. 기판 및 코팅 챔버의 세척 상태는 코팅 성능에 영향을 미칩니다.

기판과 코팅 챔버의 청결도가 코팅 성능에 미치는 영향은 무시할 수 없습니다. 증착된 박막의 순도에 심각한 영향을 미칠 뿐만 아니라 박막의 접착력도 저하시킵니다. 따라서 기판의 정제, 진공 코팅 챔버 및 관련 부품(예: 기판 프레임)의 세척, 그리고 표면 탈기는 모두 진공 코팅 공정에서 필수적인 공정입니다.