막 원자의 증착이 시작되면 이온 충격은 막/기질 계면에 다음과 같은 효과를 미칩니다.
(1) 물리적 혼합. 고에너지 이온 주입, 증착된 원자의 스퍼터링, 표면 원자의 반동 주입 및 캐스케이드 충돌 현상으로 인해 기판 요소와 막 요소의 막/베이스 계면 표면 근처 영역이 비확산 혼합을 유발합니다. 이러한 혼합 효과는 막/베이스 계면 "유사 확산층", 즉 막/베이스 계면 사이의 전이층을 형성하는 데 도움이 되며, 이 전이층은 최대 수 마이크론 두께입니다. 새로운 상이 나타날 수도 있는 수 마이크로미터 두께입니다. 이는 막/베이스 계면의 접착 강도를 향상시키는 데 매우 유리합니다.
(2) 확산 향상. 표면 근처 영역의 높은 결함 농도와 높은 온도는 확산 속도를 증가시킨다. 표면이 점 결함이기 때문에 작은 이온들이 표면을 휘게 하는 경향이 있으며, 이온 충격은 표면 휘어짐을 더욱 증가시키고 증착 원자와 기판 원자의 상호 확산을 향상시키는 효과가 있다.
(3) 향상된 핵생성 모드. 기판 표면에 응축된 원자의 특성은 표면 상호작용과 표면에서의 이동 특성에 의해 결정됩니다. 응축된 원자와 기판 표면 사이에 강한 상호작용이 없다면, 원자는 고에너지 위치에서 핵생성되거나 다른 확산 원자와 충돌할 때까지 표면에서 확산됩니다. 이러한 핵생성 모드를 비반응성 핵생성이라고 합니다. 원래는 비반응성 핵생성 모드에 속하더라도, 기판 표면에 이온을 충돌시키면 더 많은 결함이 생성되어 핵생성 밀도가 증가하여 확산-반응성 핵생성 모드 형성에 더 유리합니다.
(4) 느슨하게 결합된 원자의 우선적 제거. 표면 원자의 스퍼터링은 국부 결합 상태에 의해 결정되며, 표면에 이온이 충돌하면 느슨하게 결합된 원자가 스퍼터링될 가능성이 더 높습니다. 이러한 효과는 확산-반응성 계면 형성에서 더욱 두드러집니다.
(5) 표면 피복성 향상 및 도금 바이패스 향상. 이온 플레이팅은 작동 가스 압력이 높아 증발 또는 스퍼터링된 원자가 가스 원자와 충돌하여 산란을 증가시켜 코팅의 랩어라운드 특성을 향상시킵니다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2023년 12월 9일